【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置,包括炉体(8)以及位于所述炉体(8)外的真空装置(10);其特征是:所述炉体(8)内设有保温屏(3),所述保温屏(3)内设有单晶生长坩埚机构,所述单晶生长坩埚机构包括至少两个坩埚体(1),所述单晶生长坩埚机构内的坩埚体(1)相互独立。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:倪屹,司继良,张杰,巩潇,刘银法,刘棋奇,
申请(专利权)人:江南大学,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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