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多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置制造方法及图纸

技术编号:11057190 阅读:109 留言:0更新日期:2015-02-18 20:24
本发明专利技术涉及一种生长装置,尤其是一种多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置,属于晶体制备的技术领域。按照本发明专利技术提供的技术方案,所述多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置,包括炉体以及位于所述炉体外的真空装置;所述炉体内设有保温屏,所述保温屏内设有单晶生长坩埚机构,所述单晶生长坩埚机构包括至少两个坩埚体,所述单晶生长坩埚机构内的坩埚体相互独立。本发明专利技术炉体内设置至少两个坩埚体,通过真空装置、加热装置的配合能一次获得至少二个蓝宝石单晶,在提高生长速率的同时提高了晶体的产量;长方体型晶体便于后续加工切割,节约能耗,降低成本,安全可靠。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置,包括炉体(8)以及位于所述炉体(8)外的真空装置(10);其特征是:所述炉体(8)内设有保温屏(3),所述保温屏(3)内设有单晶生长坩埚机构,所述单晶生长坩埚机构包括至少两个坩埚体(1),所述单晶生长坩埚机构内的坩埚体(1)相互独立。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:倪屹司继良张杰巩潇刘银法刘棋奇
申请(专利权)人:江南大学
类型:发明
国别省市:江苏;32

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