下载多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置的技术资料

文档序号:11057190

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本发明涉及一种生长装置,尤其是一种多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置,属于晶体制备的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述多坩埚三维蓝宝石单晶生长装置,包括炉体以及位于所述炉体外的真空装置;所述炉体内设有保温屏,所述保温屏内设有单晶生长坩埚机构...
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