【技术实现步骤摘要】
本技术属于机械设备
，涉及一种单晶炉用空心水冷轴。
技术介绍
目前，现有技术在采用高温人工晶体生长时，为了获得理想的生长工艺条件，坩锅在坩埚轴的支撑下不但需要做升降运动、旋转运动，同时又要对坩埚底部的温度进行测量；由于大多数人工晶体生长温度较高，因此，需要对坩埚轴进行水冷却，这样就难以实现坩埚底部的准确温度测量，成为一个影响晶体生长的技术难题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种单晶炉用空心水冷轴，解决了现有技术中没有适当的空间设置，不能满足在水冷情况下对坩埚底部温度测量的问题。本技术所采用的技术方案是，一种单晶炉用空心水冷轴，包括在轴体中沿轴心线设置有通孔，在轴体的圆壁上开有进水螺旋槽和回水螺旋槽，进水螺旋槽和回水螺旋槽的上端口通过过渡槽连通，进水螺旋槽和回水螺旋槽的外周包裹有外筒；在进水螺旋槽和回水螺旋槽的下端口起始位置分别开有进水孔和出水孔。本技术的有益效果是:结构简单，加工制造容易，安全可靠附图说明图1为本技术单晶炉用空心水冷轴的结构示意图。图中，1.轴体，2.外筒，3.进水螺旋槽，4.回水螺旋槽，5.过渡槽，6.出水孔，7.进水孔，8.通孔。具体实施方式参照图1，本技术的单晶炉用空心水冷轴，包括在轴体I中沿轴心线设置有通孔8，在轴体I的圆壁上开有进水螺旋槽3和回水螺旋槽4，进水螺旋槽3和回水螺旋槽4的上端口通过过渡槽5连通，进水螺旋槽3和回水螺旋槽4的外周包裹有外筒2，外筒2与轴体I密封固定连接(焊接在一起)，实现对进水螺旋槽3和回水螺旋槽4的密封；在进水螺旋槽3和回水螺旋槽4的下端口起始位置分别开有进水孔7和出水孔6，进水孔7和出水孔6通...
【技术保护点】
一种单晶炉用空心水冷轴，其特征在于：包括在轴体（1）中沿轴心线设置有通孔（8），在轴体（1）的圆壁上开有进水螺旋槽（3）和回水螺旋槽（4），进水螺旋槽（3）和回水螺旋槽（4）的上端口通过过渡槽（5）连通，进水螺旋槽（3）和回水螺旋槽（4）的外周包裹有外筒（2）；在进水螺旋槽（3）和回水螺旋槽（4）的下端口起始位置分别开有进水孔（7）和出水孔（6）。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用空心水冷轴，其特征在于:包括在轴体(I)中沿轴心线设置有通孔(8 )，在轴体(I)的圆壁上开有进水螺旋槽(3 )和回水螺旋槽(4)，进水螺旋槽(3 )和回水螺旋槽(4 )的上端口通过过渡槽(5 )连通，进水螺旋槽(3 ...
【专利技术属性】
技术研发人员：李留臣，冯金生，
申请(专利权)人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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