【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉领域,特别是一种用于单晶炉的称重系统。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中,需要测量晶棒的重量,便于计算石英锅内剩余硅料的质量,所以需要一套单晶炉称重装置。现有的称重装置,都是采用复杂的机械动作来实现,比较费力,而且测量的精度不高,易造成硅料的浪费等现象。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种用于单晶炉的称重系统,该称重装置通过一个称重传感器测量石英坩内的重量,从而测量出剩余硅料量,起到了节约硅料的作用。为解决上述的技术问题,本技术的结构包括坩埚、称重传感器、导向筒、平移机构和升降机构,所述的称重传感器安装在导向筒内,所述坩埚的两侧各设置有一个连接耳座,所述的连接耳座上开设有通孔,所述坩埚的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座相连,所述的平移机构与升降机构相连。进一步:所述的平移机构包括气缸、U型推板、两条水平轨道和两个滑块,
所述的两个滑块分别活动连接在两条水平轨道上,所述的气缸与U型推板相连,所述U型推板的两端分别连接在两个滑块上,所述的升降机构连接在滑块上。又进一步:所述的升降机构包括设置在滑块上的竖直轨道、升降小车、升降板和定位柱,所述定位柱的尺寸与连接耳座上通孔的尺寸相匹配,所述的升降小车滑动连接在竖直轨道上,所述的升降板水平固定连接在升降小车上,所 ...
【技术保护点】
一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:包括坩埚(3)、称重传感器(10)、导向筒(9)、平移机构和升降机构,所述的称重传感器(10)安装在导向筒(9)内,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个连接耳座(6),所述的连接耳座(6)上开设有通孔,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座(6)相连,所述的平移机构与升降机构相连。
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:包括坩埚(3)、称重传感器(10)、导向筒(9)、平移机构和升降机构,所述的称重传感器(10)安装在导向筒(9)内,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个连接耳座(6),所述的连接耳座(6)上开设有通孔,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座(6)相连,所述的平移机构与升降机构相连。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:所述的平移机构包括气缸(6)、U型推板(4)、两条水平轨道(1)和两个滑块(2),所述的两个滑块分别活动连...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘清跃,王平,
申请(专利权)人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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