一种用于单晶炉的称重系统技术方案

技术编号:13705869 阅读:161 留言:0更新日期:2016-09-12 21:07
本实用新型专利技术涉及一种用于单晶炉的称重系统,包括坩埚、称重传感器、导向筒、平移机构和升降机构,所述的称重传感器安装在导向筒内,所述坩埚的两侧各设置有一个连接耳座,所述的连接耳座上开设有通孔,所述坩埚的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座相连,所述的平移机构与升降机构相连。本设计通过一个称重传感器测量石英坩内的重量,从而测量出剩余硅料量,起到了节约硅料的作用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉领域,特别是一种用于单晶炉的称重系统
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中,需要测量晶棒的重量,便于计算石英锅内剩余硅料的质量,所以需要一套单晶炉称重装置。现有的称重装置,都是采用复杂的机械动作来实现,比较费力,而且测量的精度不高,易造成硅料的浪费等现象。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种用于单晶炉的称重系统,该称重装置通过一个称重传感器测量石英坩内的重量,从而测量出剩余硅料量,起到了节约硅料的作用。为解决上述的技术问题,本技术的结构包括坩埚、称重传感器、导向筒、平移机构和升降机构,所述的称重传感器安装在导向筒内,所述坩埚的两侧各设置有一个连接耳座,所述的连接耳座上开设有通孔,所述坩埚的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座相连,所述的平移机构与升降机构相连。进一步:所述的平移机构包括气缸、U型推板、两条水平轨道和两个滑块,
所述的两个滑块分别活动连接在两条水平轨道上,所述的气缸与U型推板相连,所述U型推板的两端分别连接在两个滑块上,所述的升降机构连接在滑块上。又进一步:所述的升降机构包括设置在滑块上的竖直轨道、升降小车、升降板和定位柱,所述定位柱的尺寸与连接耳座上通孔的尺寸相匹配,所述的升降小车滑动连接在竖直轨道上,所述的升降板水平固定连接在升降小车上,所述的定位柱安装在升降板上。采用上述结构后,本技术通过一个称重传感器测量石英坩内的重量,从而测量出剩余硅料量,起到了节约硅料的作用;而且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。图1为本技术的结构示意图。图2为升降机构的结构示意图。具体实施方式如图1所示的一种用于单晶炉的称重系统,包括坩埚3、称重传感器10、导向筒9、平移机构和升降机构,所述的称重传感器10安装在导向筒9内,所述坩埚3的两侧各设置有一个连接耳座6,所述的连接耳座6上开设有通孔,所述坩埚3的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座6相连,所述的平移机构与升降机构相连。工作时,当一批晶棒制备完成后,启动平移机构把坩埚3运送到导向筒9内称重传感器10的正上方,然后启动升降机构使其带着坩埚3向下降,使坩埚3沿着导向筒9掉落在称重传感器10上,当坩埚3掉落在称重传感器10上后,继续启动升降机构使升降机构与坩埚3进行分离,
此时通过称重传感器10测量出坩埚3内的剩余硅料量。当测量完毕后反向启动升降机构使坩埚3从导向筒9升出,最后启动平移机构把坩埚3输送回原位。如图1所示的平移机构包括气缸6、U型推板4、两条水平轨道1和两个滑块2,所述的两个滑块2分别活动连接在两条水平轨道1上,所述的气缸6与U型推板4相连,所述U型推板4的两端分别连接在两个滑块2上,所述的升降机构连接在滑块2上。工作时,启动气缸6使其6推着U型推板4进行水平移动,两个滑块2在U型推板4的作用下会带着坩埚3沿着两条水平轨道进行水平移动,从而把坩埚3输送到称重传感器10的正上方。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。如图2所示的升降机构包括设置在滑块2上的竖直轨道13、升降小车13、升降板15和定位柱8,所述定位柱8的尺寸与连接耳座6上通孔的尺寸相匹配,所述的升降小车13滑动连接在竖直轨道13上,所述的升降板15水平固定连接在升降小车1上,所述的定位柱8安装在升降板15上。当坩埚运送到称重传感器10的正上方时,启动升降小车13使其通过升降板15带着坩埚3向下运动,把坩埚3运送到称重传感器10上,然后继续启动升降小车13使与连接耳座6相分离,此时利用称重传感器10来测量坩埚3内剩余的硅料量。当测量完毕后方向启动升降小车1使升降板15与连接耳座6相接触,从而利用升降板15把坩埚3从导向筒9升出。本设计通过定位柱8和连接耳座6上通孔的设计来防止坩埚3在运输的过程中发生掉落,从而起到了减少不必要损失的作用。本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:包括坩埚(3)、称重传感器(10)、导向筒(9)、平移机构和升降机构,所述的称重传感器(10)安装在导向筒(9)内,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个连接耳座(6),所述的连接耳座(6)上开设有通孔,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座(6)相连,所述的平移机构与升降机构相连。

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:包括坩埚(3)、称重传感器(10)、导向筒(9)、平移机构和升降机构,所述的称重传感器(10)安装在导向筒(9)内,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个连接耳座(6),所述的连接耳座(6)上开设有通孔,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座(6)相连,所述的平移机构与升降机构相连。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:所述的平移机构包括气缸(6)、U型推板(4)、两条水平轨道(1)和两个滑块(2),所述的两个滑块分别活动连...

【专利技术属性】
技术研发人员:潘清跃王平
申请(专利权)人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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