【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉
,特别是一种单晶炉加料装置。
技术介绍
在单晶硅棒拉制过程中,需要先将硅料装在石英坩埚中进行加热融化。得到液态的硅料,在坩埚的上方一般设置有导流筒,导流筒筒起到对坩埚的保温和引导氩气走向的作用。在使用时,先将硅料通过导流筒添加到坩埚中,由于固态的硅料较蓬松,融化后体积变小,一次不能完全投放足够的硅料,因此需要反复多次添加。普通的导流筒由于受到自身体积的限制,无法提高单次添加硅料的量,使得每个坩埚生产时多次开盖添加固体硅料,影响生产效率。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是通过升降机构把伞形挡板运送到导流筒的下方,利用伞形挡板来进行分料,防止由于在坩埚内发生积料而影响物料的加入,提高了其的实用性能;提供一种新型单向阀。为解决上述的技术问题,本技术的结构包括炉体,所述的炉体的上端开设有进料口,导流筒,所述的导流筒为倒置的漏斗状,所述的导流筒上端的两侧设置有两个支撑座,所述的导流筒通过两侧的支撑座连接在炉体的进料口处,所述的导流筒的下端穿过进料口伸入至炉体内,坩埚,所述的坩埚安装在炉体的底部,所述的坩埚位于导流筒下端的正下方,圆环,所述的圆环位于导流筒的正上方,所述的圆环的两侧各连接有一根支撑杆,所述的两根支撑杆分别固定连接在导流筒两侧的支撑座上,伞形挡板,所述的伞形挡板通过升降机构连接在圆环的下方。进一步:所述的升降机构包括螺栓和升降螺母,所述的螺栓穿过圆环并与其活动连接,所述的伞形挡板通过升降螺母与螺栓,所述的伞形挡板套装在升降螺母的外侧。又进一步:所述的螺栓的下端穿过导流筒伸入至炉体内。再进一步:所述的导流筒的内侧壁上均匀设置有 ...
【技术保护点】
一种单晶炉加料装置,其特征在于:包括炉体(1),所述的炉体(1)的上端开设有进料口,导流筒(2),所述的导流筒(2)为倒置的漏斗状,所述的导流筒(2)上端的两侧设置有两个支撑座(3),所述的导流筒(2)通过两侧的支撑座(3)连接在炉体(1)的进料口处,所述的导流筒(2)的下端穿过进料口伸入至炉体(1)内,坩埚(4),所述的坩埚(4)安装在炉体(1)的底部,所述的坩埚(4)位于导流筒(2)下端的正下方,圆环(5),所述的圆环(5)位于导流筒(2)的正上方,所述的圆环(5)的两侧各连接有一根支撑杆(6),所述的两根支撑杆(6)分别固定连接在导流筒(2)两侧的支撑座(3)上,伞形挡板(7),所述的伞形挡板(7)通过升降机构连接在圆环(5)的下方。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉加料装置,其特征在于:包括炉体(1),所述的炉体(1)的上端开设有进料口,导流筒(2),所述的导流筒(2)为倒置的漏斗状,所述的导流筒(2)上端的两侧设置有两个支撑座(3),所述的导流筒(2)通过两侧的支撑座(3)连接在炉体(1)的进料口处,所述的导流筒(2)的下端穿过进料口伸入至炉体(1)内,坩埚(4),所述的坩埚(4)安装在炉体(1)的底部,所述的坩埚(4)位于导流筒(2)下端的正下方,圆环(5),所述的圆环(5)位于导流筒(2)的正上方,所述的圆环(5)的两侧各连接有一根支撑杆(6),所述的两根支撑杆(6)分别固定连接在导流筒(2)两...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘清跃,王平,
申请(专利权)人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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