【技术实现步骤摘要】
本实用新涉及型单晶硅的生产制造设备
，特别是一种单晶炉的炉体。
技术介绍
单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、下炉体、上炉体、上炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。以往的上炉体和下炉体之间连接时，是将下炉体顶部设置成凸台状，再将上炉体直接盖在下炉体顶部，这样便完成了固定。但是此类的单晶炉炉体存在着很大的局限性，无法满足现代化工业生产需要。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是通过给位于外炉筒内的感应线圈通电，利用感应线圈产生的感应涡流进行加热，大大提高了单机炉的加热效率；提供一种单晶炉的炉体。为解决上述的技术问题，本技术的结构包括炉体外壳，底座和炉筒，所述的炉筒是由内炉筒和外炉筒所组成，所述的内炉筒位于外炉筒内并不与外炉筒相接触，所述的内炉筒外侧设置有保温衬筒，所述的保温衬筒与外炉筒之间存有间隙，所述的内炉筒内开设有倒圆台型存料腔体，所述的外炉筒内安装有加热装置，所述的外炉筒与第一升降机构相连，所述的内炉筒与第二升降机
构相连，所述炉体外壳的底部设置有进料口，所述的进料口位于存料腔体的正上方。进一步：所述的第一升降机构包括气缸、升降板和开设在底座上环形导向槽，所述的环形导向槽与外炉筒的形状相匹配，所述的气缸固定安装在底座上，所述的气缸通过升降板连接在外炉筒的外侧。又进一步：所述的第二升降机构包括电机、滚珠丝杠、联轴器和滚珠丝杠螺母，所述的电机安装在底内，所述的电机通过联轴器与滚珠丝杠相连，所述的滚珠丝杠穿过内炉筒连接在炉体外...
【技术保护点】
一种单晶炉的炉体，其特征在于：包括炉体外壳(1)，底座(2)和炉筒，所述的炉筒是由内炉筒(4)和外炉筒(5)所组成，所述的内炉筒(4)位于外炉筒(5)内并不与外炉筒(5)相接触，所述的内炉筒(4)外侧设置有保温衬筒(5)，所述的保温衬筒(5)与外炉筒(5)之间存有间隙，所述的内炉筒(4)内开设有倒圆台型存料腔体，所述的外炉筒(5)内安装有加热装置，所述的外炉筒(5)与第一升降机构相连，所述的内炉筒(4)与第二升降机构相连，所述炉体外壳(1)的底部设置有进料口(9)，所述的进料口(9)位于存料腔体的正上方。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉的炉体，其特征在于：包括炉体外壳(1)，底座(2)和炉筒，所述的炉筒是由内炉筒(4)和外炉筒(5)所组成，所述的内炉筒(4)位于外炉筒(5)内并不与外炉筒(5)相接触，所述的内炉筒(4)外侧设置有保温衬筒(5)，所述的保温衬筒(5)与外炉筒(5)之间存有间隙，所述的内炉筒(4)内开设有倒圆台型存料腔体，所述的外炉筒(5)内安装有加热装置，所述的外炉筒(5)与第一升降机构相连，所述的内炉筒(4)与第二升降机构相连，所述炉体外壳(1)的底部设置有进料口(9)，所述的进料口(9)位于存料腔体的正上方。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉体，其特征在于：所述的第一升降机构包括气缸(7)、升降板(8)和开设在底座(2)上环形导向槽(8)，所述的环形导向槽(8)与...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘清跃，王平，
申请(专利权)人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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