【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉装置
,特别是一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。其中生产出的而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅目前世界上最重要的单晶材料之一,它不但是集成电路的主要材料,更是太阳能电池的的主要材料。因此单晶炉的质量好坏直接关系着晶硅的质量。现有的单晶硅的放气装置是直接将密封螺母密封后,放气时直接将螺母旋下进行放气,这种放气装置容易发生惰性气体的泄漏,影响惰性气体的质量。并且随着不断放气单晶炉内的压强会不断增大,超过单晶炉的承受极限,从而造成不必要的损失。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是设计一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀,使其不仅能够实现对单晶炉进行主动放气,而且使其在单晶炉内压强过大时能够自动进行放气,对单晶炉起到自我保护的功能。为解决上述的技术问题,本技术的结构包括阀筒、阀芯、弹簧和阀盖,所述的阀芯活动连接在阀筒内的一侧,所述的阀盖连接在阀筒的另一侧,所述的阀芯通过弹簧与阀盖相连,所述的阀芯还与平移机构相连,所述的阀筒是由第一阀筒和第二阀筒左右连接组成,所述第二阀筒的侧壁上开设有出气孔,所
述第二阀筒的左端与阀盖相连。进一步:所述的平移机构包括活塞杆、活塞、挡块和气缸,所述的活塞杆水平连接在阀筒内,所述的活塞和阀芯活动套装在活塞杆上,所述的阀芯通过活塞与弹簧相连,所述的气缸穿过阀盖与活塞杆的一端相连,所述的挡块固定连接在活塞杆的另一端。又进一步:所述第二阀筒的左端设置有外接螺纹 ...
【技术保护点】
一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀,其特征在于:包括阀筒、阀芯(4)、弹簧(10)和阀盖(3),所述的阀芯(4)活动连接在阀筒内的一侧,所述的阀盖(3)连接在阀筒的另一侧,所述的阀芯(4)通过弹簧(10)与阀盖(3)相连,所述的阀芯(4)还与平移机构相连,所述的阀筒是由第一阀筒(1)和第二阀筒(2)左右连接组成,所述第二阀筒(2)的侧壁上开设有出气孔(9),所述第二阀筒(2)的左端与阀盖(3)相连。
【技术特征摘要】
1.一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀,其特征在于:包括阀筒、阀芯(4)、弹簧(10)和阀盖(3),所述的阀芯(4)活动连接在阀筒内的一侧,所述的阀盖(3)连接在阀筒的另一侧,所述的阀芯(4)通过弹簧(10)与阀盖(3)相连,所述的阀芯(4)还与平移机构相连,所述的阀筒是由第一阀筒(1)和第二阀筒(2)左右连接组成,所述第二阀筒(2)的侧壁上开设有出气孔(9),所述第二阀筒(2)的左端与阀盖(3)相连。2.根据权利要求1所述的一种具有自我保护功能的单晶炉放气阀,其特征在于:所述的平移机构包括活塞杆(6)、...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘清跃,王平,
申请(专利权)人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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