放气系统技术方案

技术编号:14799495 阅读:105 留言:0更新日期:2017-03-14 21:45
本发明专利技术公开了一种放气系统,其中,所述放气系统包括舱室,所述舱室内部的顶面通过支杆连接有缓冲板,所述缓冲板与所述舱室的顶面相平行,所述舱室上还设有多个放气阀,所述放气阀至少部分穿过所述舱室的顶面,所述舱室内部的部分放气阀位于所述顶面和所述缓冲板之间,所述放气系统还包括位于所述舱室外部的储气罐,所述储气罐通过第一管道与过滤器的进口相连通,所述过滤器的出口通过第二管道与所述放气阀相连通。解决了传统的放气系统将缓冲气体充入到舱室后,气体在舱室内分布不均匀,导致后期镀膜质量下降的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及玻璃镀膜设备,具体地,涉及放气系统
技术介绍
在玻璃镀膜工艺中,真空镀膜是一种常见的方法,其主要是在真空室内将材料的原子从加热源离析出来打到玻璃的表面上。玻璃的真空镀膜是在镀膜室内进行的,玻璃通过传输机构运送到镀膜室中进行镀膜,在镀膜时,玻璃基片会顺次通过缓冲室和过渡室,缓冲室和过渡室会填充缓冲气体,传统的放气系统将缓冲气体充入到舱室后,气体在舱室内分布不均匀,导致后期镀膜质量下降。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种放气系统,解决了传统的放气系统将缓冲气体充入到舱室后,气体在舱室内分布不均匀,导致后期镀膜质量下降的问题。为了实现上述目的,本专利技术提供了一种放气系统,其中,所述放气系统包括舱室,所述舱室内部的顶面通过支杆连接有缓冲板,所述缓冲板与所述舱室的顶面相平行,所述舱室上还设有多个放气阀,所述放气阀至少部分穿过所述舱室的顶面,所述舱室内部的部分放气阀位于所述顶面和所述缓冲板之间,所述放气系统还包括位于所述舱室外部的储气罐,所述储气罐通过第一管道与过滤器的进口相连通,所述过滤器的出口通过第二管道与所述放气阀相连通。优选地,所述舱室的底面顺次设有多个辊筒机构,所述辊筒机构上放置有镀膜玻璃,使得所述镀膜玻璃可以在所述辊筒机构上沿第一方向滑动,所述辊筒机构至少包括有辊筒,且所述辊筒的表面套接有多个缓冲垫。优选地,所述缓冲板为矩形,且所述缓冲板的长边方向与所述第一方向平行,所述缓冲板中相对的长边上分别垂直固定有挡板,且两个所述挡板位于所述缓冲板的下方。优选地,所述挡板与所述舱室的侧壁之间的距离为5-10cm。优选地,位于所述舱室外部的所述放气阀上设置有开关。优选地,所述放气阀的数量为2-6个,且所述放气阀在所述舱室的顶面上沿所述第一方向等距分布。根据上述技术方案,本专利技术提供了一种放气系统,其中,所述放气系统包括舱室,所述舱室内部的顶面通过支杆连接有缓冲板,所述缓冲板与所述舱室的顶面相平行,所述舱室上还设有多个放气阀,所述放气阀至少部分穿过所述舱室的顶面,所述舱室内部的部分放气阀位于所述顶面和所述缓冲板之间,所述放气系统还包括位于所述舱室外部的储气罐,所述储气罐通过第一管道与过滤器的进口相连通,所述过滤器的出口通过第二管道与所述放气阀相连通,放气阀直接安装在顶面上,它把充入的气体直接引导到缓冲板上,缓冲板固定在舱室的内侧,它的作用是把缓冲气体均匀地分布在舱室的每一个室壁上,使得缓冲气体能均匀的充斥整个舱室,过滤器的设置可以保证缓冲气体内不含细小颗粒,大大增加了后续镀膜的质量。本专利技术的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术,但并不构成对本专利技术的限制。在附图中:图1是本专利技术提供的一种放气系统的结构示意图;图2是本专利技术提供的一种放气系统的剖视图。附图标记说明1-储气罐2-过滤器3-放气阀4-舱室5-缓冲板6-支杆7-镀膜玻璃8-辊筒机构9-开关10-缓冲垫11-辊筒12-挡板具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术,并不用于限制本发明。本专利技术提供了一种放气系统,其中,所述放气系统包括舱室4,所述舱室4内部的顶面通过支杆6连接有缓冲板5,所述缓冲板5与所述舱室4的顶面相平行,所述舱室4上还设有多个放气阀3,所述放气阀3至少部分穿过所述舱室4的顶面,所述舱室4内部的部分放气阀3位于所述顶面和所述缓冲板5之间,所述放气系统还包括位于所述舱室4外部的储气罐1,所述储气罐1通过第一管道与过滤器2的进口相连通,所述过滤器2的出口通过第二管道与所述放气阀3相连通。放气阀3直接安装在顶面上,它把充入的气体直接引导到缓冲板5上,缓冲板5固定在舱室4的内侧,它的作用是把缓冲气体均匀地分布在舱室4的每一个室壁上,使得缓冲气体能均匀的充斥整个舱室4,过滤器2的设置可以保证缓冲气体内不含细小颗粒,大大增加了后续镀膜的质量。在本专利技术的一种优选的实施方式中,所述舱室4的底面顺次设有多个辊筒机构8,所述辊筒机构8上放置有镀膜玻璃7,使得所述镀膜玻璃7可以在所述辊筒机构8上沿第一方向滑动,所述辊筒机构8至少包括有辊筒11,且所述辊筒11的表面套接有多个缓冲垫10,缓冲垫10可以让镀膜玻璃7与辊筒11的接触更为柔和,防止滑动时辊筒11对镀膜玻璃7表面造成刮痕。在本专利技术的一种更为优选的实施方式中,为了方便把缓冲气体引导到舱室4的侧壁上,从而使得缓冲气体均匀的充斥整个舱室4,所述缓冲板5为矩形,且所述缓冲板5的长边方向与所述第一方向平行,所述缓冲板5中相对的长边上分别垂直固定有挡板12,且两个所述挡板12位于所述缓冲板5的下方,优选的,所述挡板12与所述舱室4的侧壁之间的距离为5-10cm,当然这里的距离可以根据本领域人员的需求进行调整。在本专利技术的一种优选的实施方式中,为了方便对每个放气阀3进行开关控制,位于所述舱室4外部的所述放气阀3上设置有开关9。在本专利技术的一种更为优选的实施方式中,为了使得缓冲气体更为均匀的充斥整个舱室4,所述放气阀3的数量为2-6个,且所述放气阀3在所述舱室4的顶面上沿所述第一方向等距分布。以上结合附图详细描述了本专利技术的优选实施方式,但是,本专利技术并不限于上述实施方式中的具体细节,在本专利技术的技术构思范围内,可以对本专利技术的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本专利技术的保护范围。另外需要说明的是,在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合,为了避免不必要的重复,本专利技术对各种可能的组合方式不再另行说明。此外,本专利技术的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本专利技术的思想,其同样应当视为本专利技术所公开的内容。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放气系统,其特征在于,所述放气系统包括舱室(4),所述舱室(4)内部的顶面通过支杆(6)连接有缓冲板(5),所述缓冲板(5)与所述舱室(4)的顶面相平行,所述舱室(4)上还设有多个放气阀(3),所述放气阀(3)至少部分穿过所述舱室(4)的顶面,所述舱室(4)内部的部分放气阀(3)位于所述顶面和所述缓冲板(5)之间,所述放气系统还包括位于所述舱室(4)外部的储气罐(1),所述储气罐(1)通过第一管道与过滤器(2)的进口相连通,所述过滤器(2)的出口通过第二管道与所述放气阀(3)相连通。

【技术特征摘要】
1.一种放气系统,其特征在于,所述放气系统包括舱室(4),所述舱
室(4)内部的顶面通过支杆(6)连接有缓冲板(5),所述缓冲板(5)与
所述舱室(4)的顶面相平行,所述舱室(4)上还设有多个放气阀(3),所
述放气阀(3)至少部分穿过所述舱室(4)的顶面,所述舱室(4)内部的
部分放气阀(3)位于所述顶面和所述缓冲板(5)之间,所述放气系统还包
括位于所述舱室(4)外部的储气罐(1),所述储气罐(1)通过第一管道与
过滤器(2)的进口相连通,所述过滤器(2)的出口通过第二管道与所述放
气阀(3)相连通。
2.根据权利要求1所述的放气系统,其特征在于,所述舱室(4)的底
面顺次设有多个辊筒机构(8),所述辊筒机构(8)上放置有镀膜玻璃(7),
使得所述镀膜玻璃(7)可以在所述辊筒机构(8)上沿第一方向滑动,所述

【专利技术属性】
技术研发人员:金海涛薛辉昌江任俊春
申请(专利权)人:芜湖真空科技有限公司
类型:发明
国别省市:安徽;34

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