【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅制造设备
,特别是一种用于单晶炉的搅拌冷却装置。
技术介绍
直拉单晶是一种周期性的、非连续的生产过程。每个周期结束后,都需要等待炉内温度冷却到300℃以下后,才能进行拆炉、清理及下个生产周期的准备工作。另外,由于直拉单晶生产过程是持续的高温过程,为了降低拉晶能耗,炉内设置了大量的保温层,导致停炉后需要等待6~10h才能使炉内热场冷却下来,此段时间占整个生产周期的1/8。这期间炉子处于闲置状态,降低了单晶制造装置的运转率,影响了单晶炉拉晶的效率。并且在利用单晶炉生产的过程中如果材料冷却的过快,会对材料自身也会产生影响,从而产生不必要的损失。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是通过采用双层冷去的方法逐步完成对炉体内材料的冷却,防止炉体内的材料由于温度变化过快而造成影响,减少了不必要的损失;提供一种用于单晶炉的搅拌冷却装置器。为解决上述的技术问题,本技术的结构包括箱体、炉体、冷却套筒、升降机构和搅拌机构,所述的冷却套筒安装在箱体的上方,所述的冷却套筒为环形套筒,所述的搅拌机构安装在炉体内,所述的升降机构包括气缸、导向轨道和导向滚轮,所述的导向轨道竖直设置在冷却套筒和箱体内,所述的气缸安装在箱体内,所述的气缸连接在炉体的底部,所述炉体的两侧分别通过两个导向滚轮活动连接在导向轨道上,所述冷却套筒的侧壁上开设有空心腔体,所述的冷却套筒与箱体之间还设有进液管和出液管,所述冷却套筒内的空心腔体通过进液管和出液管与箱体相连通。进一步:所述的搅拌机构包括电机、转动轴和搅拌叶片,所述的电机安装在炉体内的顶部,所述的电机与转动轴相连,所述的搅拌叶片套装在 ...
【技术保护点】
一种用于单晶炉的搅拌冷却装置,其特征在于:包括箱体(1)、炉体(2)、冷却套筒(4)、升降机构和搅拌机构,所述的冷却套筒(4)安装在箱体(1)的上方,所述的冷却套筒(4)为环形套筒,所述的搅拌机构安装在炉体(2)内,所述的升降机构包括气缸(15)、导向轨道(3)和导向滚轮(6),所述的导向轨道(3)竖直设置在冷却套筒(4)和箱体(1)内,所述的气缸(15)安装在箱体(1)内,所述的气缸(15)连接在炉体(2)的底部,所述炉体(2)的两侧分别通过两个导向滚轮(6)活动连接在导向轨道(3)上,所述冷却套筒(4)的侧壁上开设有空心腔体,所述的冷却套筒(4)与箱体(1)之间还设有进液管(10)和出液管(11),所述冷却套筒(4)内的空心腔体通过进液管(10)和出液管(11)与箱体(1)相连通。
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的搅拌冷却装置,其特征在于:包括箱体(1)、炉体(2)、冷却套筒(4)、升降机构和搅拌机构,所述的冷却套筒(4)安装在箱体(1)的上方,所述的冷却套筒(4)为环形套筒,所述的搅拌机构安装在炉体(2)内,所述的升降机构包括气缸(15)、导向轨道(3)和导向滚轮(6),所述的导向轨道(3)竖直设置在冷却套筒(4)和箱体(1)内,所述的气缸(15)安装在箱体(1)内,所述的气缸(15)连接在炉体(2)的底部,所述炉体(2)的两侧分别通过两个导向滚轮(6)活动连接在导向轨道(3)上,所述冷却套筒(4)的侧壁上开设有空心腔体,所述的冷却套筒(4)与箱体(1)之间还设有进液管(10)和出液管(11),所述冷却套筒(4...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘清跃,王平,
申请(专利权)人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。