多晶锭或单晶棒的开方工具制造技术

技术编号:7010711 阅读:323 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种多晶锭或单晶棒的开方工具,包括金刚线,金刚线外壁镶嵌有第一金刚砂颗粒,金刚线外包裹有金刚砂浆层,金刚砂浆层中含有第二金刚砂颗粒。本实用新型专利技术不仅保留了结构钢线开方的工艺稳定性好、硅料损失较少、晶棒表面质量好以及成本少等优点;而且本实用新型专利技术在开方工艺中,金刚砂及金刚线同时对晶锭或晶棒进行切割,切割能力大大增加,切割效率大大改善;尤其是在对多晶锭开方过程中,以往的开方工艺由于多晶锭顶部杂质层硬度大造成的钢线或金刚线断线、带锯锯条扭曲或变形等引起的晶棒开方尺寸偏差报废、车间产能损失、原材料辅材让费等问题非常严重,本实用新型专利技术从根本上解决了该问题。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多晶锭或单晶棒的开方工具
技术介绍
在对多晶锭或单晶棒切片之前,首先需要对多晶锭或单晶棒进行开方,目前开方的方法主要有带锯开方、结构钢线开方以及金刚线开方。这几种开方方法各有优缺点,各自优缺点分别为1.带锯开方的优点是产能相对结构钢线开方较大,缺点是成本高,工艺稳定性一般,硅料损失严重,开方以后晶棒表面质量较差;2.结构钢线开方的优点工艺稳定性较好,硅料损失较少,晶棒表面质量较好,成本较少,缺点是产能一般;3.金刚线开方的优点是产能较大,成本较少,硅料损失较少,缺点是工艺稳定性较差,晶棒表面质量一般,开方时易断线导致晶锭报废;在现硅片切片行业,要保证切片的整体效益,开方阶段的重要性也非常突出,保证开方工艺的高产能、高稳定性、高质量、低成本、低硅料损耗、低故障率特点已成为开方工艺的发展方向。目前国内外行业内所有开方方法及工艺均在不断完善中,但就目前的开方工艺, 无论是结构钢线开方、金刚线开方还是带锯开方,均存在较明显的缺点,寻找一种新的能够将目前所有开方工艺的优点结合起来的开方工艺方法已迫在眉睫。本专利技术通过结合目前各开方方法的优点,创建了一种新的开方工艺,从根本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶锭或单晶棒的开方工具,其特征在于:包括金刚线(1),金刚线(1)外包裹有金刚砂浆层(3)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:贺洁
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司
类型:实用新型
国别省市:32

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