【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种蓝宝石长晶炉保温装置。
技术介绍
蓝宝石晶体由于具有高強度、高硬度，耐高温、耐磨擦、化学稳定性好等一系列优良的综合物化性能，是GaN基LED外延生长的商业化衬底材料，占市场95%，是半导体照明技术和产业的基础材料。蓝宝石晶体的熔点高达2050°C，生长极其困难，直径200mm以上的蓝宝石晶体主要有泡生法和热交换法，热交换法是目前世界上稳定生长最大尺寸和最高光学质量的蓝宝石晶体的唯一方法，它可以独立控制晶体中温度梯度和熔体中温度梯度，有利于生长高质量、大尺寸的蓝宝石晶体。目前可以量产100公斤蓝宝石光学晶体。 热交换法使用的长晶炉就是在真空石墨电阻炉的底部装上一个钨钥制成的热交換器，内有冷却氦气流过，把装有原料的坩埚放在热交換器的顶端，两者中心相互重合，而籽晶置于坩埚底部的中心处，当坩埚内的原料被加热熔化以后，此时，由于氦气流经热交換器冷却，使籽晶并未熔化，当氦气流量逐渐加大后，则从熔体带走的热量亦相应增カロ，使籽晶逐渐长大，最后使整个坩埚内的熔体全部凝固。热交换法生产蓝宝石晶体周期很长，15天以上，所需要的加热功率很高。根据长晶エ艺及经验，长晶开始...
【技术保护点】
一种蓝宝石长晶炉保温装置，其特征在于该保温装置包括石墨毡垫片，由置于石墨开口环和下部保温层之间、形状与保温层截面相同的三个扇形软毡组成，用于减小石墨开口环和下部保温层之间的缝隙，石墨毡包围，长度与保温层外周相等的方形石墨软毡，其上含有三个底部开口的电极孔，安装在电极保护套上用于包覆石墨开口环和下部保温层之间的缝隙。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：虞希高，吴云才，周国清，罗庆波，周林，
申请(专利权)人：浙江上城科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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