一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉制造技术

技术编号:15630216 阅读:221 留言:0更新日期:2017-06-14 14:15
本发明专利技术公开供一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉,生长炉加热器,包括环形基筒、加热环以及电机,加热环设置在环形基筒的内壁上,且加热环通过导线与炉体外部的加热元件电源和控制器连接,炉体的炉盖上对称设置有两个电机,电机与控制器通过导线连接,电机的输出轴上绕设有提拉线,提拉线的下端穿过炉体并与环形基筒的上端固定连接。本发明专利技术的蓝宝石晶体生长炉为较为环保的低能耗生长炉,生长炉内的加热器可灵活调节,并且长晶炉还配有换热器,换热器用于保护气和冷却循环水之间的热量交换,利用冷却循环水的热量使充入炉体内的保护气升温,带有热量的保护气进入炉体内,能进一步提高炉内的保温效果,实现了坩埚冷却循环水热量的重新利用。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉
本专利技术涉及蓝宝石制备设备
,具体涉及一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉。
技术介绍
蓝宝石即AL203单晶体,具有熔点高、硬度高、导热性好、透过光波段宽、电绝缘性好、耐强酸强碱腐蚀等特点,因此作为重要的技术晶体材料,被广泛应用在国防、军事、科研等一系列高科技
,同时在民用工业上也有大量的应用,如发光二极管、微电子电路、光学传感性、光波导器件及LED节能领域。。随着技术进步,人工生产蓝宝石晶体的方法越来越多,但无论哪一种好方法,只有达到蓝宝石晶体的长晶温度,蓝宝石晶体才能生长,然而现有的很多长晶炉加热元件结构较为简单,若要使炉内达到2000多度的高温,保证蓝宝石晶体生长的温度,就得不停的大功率加热,对电的消耗巨大,能源浪费严重。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决上述技术问题的不足,提供一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉,晶体生长炉内的加热器可灵活调节,并且通过换热器可将坩埚冷却循环水的热量重新利用,用于炉体内部的保温。本专利技术为解决上述技术问题的不足,所采用的技术方案是:一种晶体生长炉加热器,包括环形基筒、加热环本文档来自技高网...
一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉

【技术保护点】
一种晶体生长炉加热器,其特征在于:所述加热系统包括环形基筒(16)、加热环(17)以及用于驱动基筒上下移动的电机(18),加热环(17)设置在环形基筒(16)的内壁上,且加热环(17)通过导线与炉体(1)外部的加热元件电源和控制器连接,所述炉体(1)的炉盖上对称设置有两个电机(18),电机(18)与控制器通过导线连接,电机(18)的输出轴上绕设有提拉线(19),提拉线(19)的下端穿过炉体(1)并与环形基筒(16)的上端固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉加热器,其特征在于:所述加热系统包括环形基筒(16)、加热环(17)以及用于驱动基筒上下移动的电机(18),加热环(17)设置在环形基筒(16)的内壁上,且加热环(17)通过导线与炉体(1)外部的加热元件电源和控制器连接,所述炉体(1)的炉盖上对称设置有两个电机(18),电机(18)与控制器通过导线连接,电机(18)的输出轴上绕设有提拉线(19),提拉线(19)的下端穿过炉体(1)并与环形基筒(16)的上端固定连接。2.如权利要求1所述一种晶体生长炉加热器,其特征在于:所述提拉线(19)上设置有温度传感器,温度传感器通过导线与控制器连接。3.一种蓝宝石晶体生长炉,其特征在于:包括权利要求1或权利要求2所述的晶体生长炉加热器。4.如权利要求3所述的蓝宝石晶体生长炉,其特征在于:晶体生长炉还包括炉体(1)、坩埚(2)、冷却器(3)和换热器(4);所述炉体(1)的内壁和底壁上均设置有隔热层(5),炉体(1)的侧壁上部设置有用于向炉体(1)内部充入惰性保护气的进气孔(6),炉体(1)的侧壁下部设置有用于抽真空的排气孔(7),所述坩埚(2)设置在炉体(1)内部,炉体(1)的顶部中心位置设置可供拉晶杆(8)穿过的通孔,拉晶杆(8)的下端穿过该通孔并置于坩埚(2)上方,且拉晶杆(8)的下端端头设置有籽晶(9);所述坩埚(2)的底部设置有冷却组件,冷却组件包括与坩埚(2)底部紧密贴合的水冷盘(10)以及用于支撑水冷盘(10)的支杆(11),水冷盘(10)的内部盘设有水冷管(12),炉体(1)的底部对应支杆(11)的下端处设置有管道口,所述支杆(11)为中空杆体,水冷管...

【专利技术属性】
技术研发人员:蔺崇召姚刚孙占喜李吾臣
申请(专利权)人:许昌天戈硅业科技有限公司
类型:发明
国别省市:河南,41

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