【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶体生长
，本技术涉及一种200kg级蓝宝石晶体的生长设备。
技术介绍
蓝宝石的组成为氧化铝Al2O3，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合而成，其晶体结构为六方晶体结构。由于蓝宝石具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性，熔点高2050℃等特点，因此常被用来作为光电元件的材料。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓GaN外延层的材料品质，而氮化镓外延层品质则与所使用的蓝宝石衬底表面加工品质息息相关。由于蓝宝石单晶Al2O3C面与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时能够耐高温，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。冷心放肩微量提拉法SAPMAC是在传统泡生法基础上，结合提拉法的优势开发而来的一种适于生长高品质蓝宝石单晶的方法。虽然该工艺在晶体质量和成本方面有较大的提高，但也继承了传统泡生法的一些基本特点，即生长出的蓝宝石单晶为梨形，并且在重量和尺寸方面有较大限制，在加工大尺寸晶片和其它形状晶片方面，大大限制了晶体的材料利用率。因此，为了满足手机屏及其它潜在大尺寸产品市场的大量需求，在原有的SAPMAC的基础上进行改进，生长出200kg级蓝宝石单晶有利于缩短研发周期，减少研发投入，提高材料利用率，降低成本。进一步，可针对市场需求量大的不同尺寸产品，对热场进行调整，生长出各种规格的蓝宝石晶体，使材料利用率达到最大化。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种200kg级蓝宝石晶体的一种生长设备，增大蓝宝石晶体的单个晶体重量，有效地提高晶体材料利用率。一种200kg级蓝宝石晶体的生长设备，包括不锈钢桶1，所...
【技术保护点】
一种200kg级蓝宝石晶体的生长设备，包括不锈钢桶(1)，其特征在于：所述不锈钢桶(1)内侧设置有保温层(2)，所述保温层(2)内设置有圆形钨笼发热体，所述圆形钨笼发热体内腔中设置有圆形坩埚(5)。
【技术特征摘要】
1.一种200kg级蓝宝石晶体的生长设备，包括不锈钢桶(1)，其特征在于：所述不锈钢桶(1)内侧设置有保温层(2)，所述保温层(2)内设置有圆形钨笼发热体，所述圆形钨笼发热体内腔中设置有圆形坩埚(5)。2.根据权利要求1所述的一种200kg级蓝宝石晶体的生长设备，其特征在于：所述保温层(2)的中心为氧化锆砖，外侧由钼片包裹。3.根据权利要求1所述的一种200kg级蓝宝石晶体的生长设备，其特征在于：所述圆形钨笼发热体包括侧部上圆形钨笼发热体(3)和侧部下圆形钨笼发热体(4)。4.根据权利要求3所述的一种200kg级蓝宝石晶体的生长设备，其特征在于：所述侧部上圆形钨笼发热体(3)和侧部下圆形钨笼发热体(4)为镶嵌组合结构。5.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：康森，腾斌，王勤峰，段斌斌，张吉，倪浩然，丁钰明，孙亚雄，唐彩莉，常慧，
申请(专利权)人：天通银厦新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。