【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蓝宝石生产,具体地,涉及一种蓝宝石长晶加热装置。
技术介绍
1、目前国际上蓝宝石晶体重量普遍在400kg以下,随着蓝宝石行业的不断发展,在逐渐向大尺寸方向发展。由于采用大尺寸蓝宝石衬底可以降低led芯片成本,提高芯片得片率和单机芯片产出,因此市场大尺寸蓝宝石衬底片的需求越来越大、品质要求越来越高,6-8英寸蓝宝石衬底片在整个蓝宝石衬底片市场份额将会越来越大。
2、现有技术存在的问题,其一是晶体重量增大导致炉体、热场、加热主体越来越大、重量也随之增大,原有安装模式不足以满足炉台调整的需求;其二是目前的加热主体安装模式只能通过人工安装过程中炉内进行调整,无法准确调整加热主体的变形量且整体移动困难。
3、因此,为了解决目前市场上大公斤晶体加热主体变形所存在的技术缺点,满足大公斤级蓝宝石生产工艺发展需求,现急需改善加热主体变形控制技术,以便能够更好的保证晶片的高效生产,促进蓝宝石晶体行业的发展。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题在于,提供一种蓝宝石
...【技术保护点】
1.一种蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,包括炉腔(1),所述炉腔(1)底壁开口两侧对称设置导向机构(2),导向机构(2)下侧配装预紧密封机构(3)、伸缩滑动机构(4)及移动辅助机构(5),其中:
2.如权利要求1所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述导向板(21)和预紧密封块(31)中部分别设有电极安装孔(6),电极安装孔(6)内竖向设有电极主体(7),电极主体(7)上侧竖向设有加热主体(8),加热主体(8)的上部通过支撑件(9)与炉腔(1)侧壁内侧连接。
3.如权利要求1所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述预紧连接件(32)下端与预
...【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,包括炉腔(1),所述炉腔(1)底壁开口两侧对称设置导向机构(2),导向机构(2)下侧配装预紧密封机构(3)、伸缩滑动机构(4)及移动辅助机构(5),其中:
2.如权利要求1所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述导向板(21)和预紧密封块(31)中部分别设有电极安装孔(6),电极安装孔(6)内竖向设有电极主体(7),电极主体(7)上侧竖向设有加热主体(8),加热主体(8)的上部通过支撑件(9)与炉腔(1)侧壁内侧连接。
3.如权利要求1所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述预紧连接件(32)下端与预紧电机的动力输出端连接。
4.如权利要求3所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述固定件(51)为气缸,伸缩件(52)为与气缸配装的活塞杆。
5.如权利要求4所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,还包括控制系统,所述控制系统的信号输入端与密封感应件(36)电性连接,控制系统的信号输出端与预紧电机和气缸的电磁阀电性连接。<...
【专利技术属性】
技术研发人员:段斌斌,丁钰明,王浩,尚吉龙,姚栋梁,程佳宝,滕斌,韩斌,
申请(专利权)人:天通银厦新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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