蓝宝石长晶加热装置制造方法及图纸

技术编号:40964657 阅读:47 留言:0更新日期:2024-04-18 20:44
本发明专利技术提供了一种蓝宝石长晶加热装置,包括炉腔、导向机构、伸缩滑动机构及移动辅助机构,导向机构包括导向板;预紧密封机构包括通过预紧连接件与导向板连接的预紧密封块,预紧密封块上设有上密封圈,上密封圈与导向板之间设有密封感应件;伸缩滑动机构包括伸缩弹簧,伸缩弹簧另一端连接滑动块,滑动块内设有滑动滚珠;移动辅助机构包括固定件,固定件上活动设有伸缩件,伸缩件的另一端与预紧密封块的侧壁相对。该装置将加热本体安装在炉腔底部,使加热主体受力稳定,加热主体上部通过支撑件与炉腔侧壁相连接,通过移动导向板调节加热主体,能够有效防止加热主体在自重情况下产生的形变,避免晶体生长过程中稳定性下降及其他异常情况出现。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蓝宝石生产,具体地,涉及一种蓝宝石长晶加热装置


技术介绍

1、目前国际上蓝宝石晶体重量普遍在400kg以下,随着蓝宝石行业的不断发展,在逐渐向大尺寸方向发展。由于采用大尺寸蓝宝石衬底可以降低led芯片成本,提高芯片得片率和单机芯片产出,因此市场大尺寸蓝宝石衬底片的需求越来越大、品质要求越来越高,6-8英寸蓝宝石衬底片在整个蓝宝石衬底片市场份额将会越来越大。

2、现有技术存在的问题,其一是晶体重量增大导致炉体、热场、加热主体越来越大、重量也随之增大,原有安装模式不足以满足炉台调整的需求;其二是目前的加热主体安装模式只能通过人工安装过程中炉内进行调整,无法准确调整加热主体的变形量且整体移动困难。

3、因此,为了解决目前市场上大公斤晶体加热主体变形所存在的技术缺点,满足大公斤级蓝宝石生产工艺发展需求,现急需改善加热主体变形控制技术,以便能够更好的保证晶片的高效生产,促进蓝宝石晶体行业的发展。


技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题在于,提供一种蓝宝石长晶加热装置,解决现本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,包括炉腔(1),所述炉腔(1)底壁开口两侧对称设置导向机构(2),导向机构(2)下侧配装预紧密封机构(3)、伸缩滑动机构(4)及移动辅助机构(5),其中:

2.如权利要求1所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述导向板(21)和预紧密封块(31)中部分别设有电极安装孔(6),电极安装孔(6)内竖向设有电极主体(7),电极主体(7)上侧竖向设有加热主体(8),加热主体(8)的上部通过支撑件(9)与炉腔(1)侧壁内侧连接。

3.如权利要求1所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述预紧连接件(32)下端与预紧电机的动力输出端连...

【技术特征摘要】

1.一种蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,包括炉腔(1),所述炉腔(1)底壁开口两侧对称设置导向机构(2),导向机构(2)下侧配装预紧密封机构(3)、伸缩滑动机构(4)及移动辅助机构(5),其中:

2.如权利要求1所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述导向板(21)和预紧密封块(31)中部分别设有电极安装孔(6),电极安装孔(6)内竖向设有电极主体(7),电极主体(7)上侧竖向设有加热主体(8),加热主体(8)的上部通过支撑件(9)与炉腔(1)侧壁内侧连接。

3.如权利要求1所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述预紧连接件(32)下端与预紧电机的动力输出端连接。

4.如权利要求3所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,所述固定件(51)为气缸,伸缩件(52)为与气缸配装的活塞杆。

5.如权利要求4所述的蓝宝石长晶加热装置,其特征在于,还包括控制系统,所述控制系统的信号输入端与密封感应件(36)电性连接,控制系统的信号输出端与预紧电机和气缸的电磁阀电性连接。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:段斌斌丁钰明王浩尚吉龙姚栋梁程佳宝滕斌韩斌
申请(专利权)人:天通银厦新材料有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1