System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 单晶炉热场及单晶炉制造技术_技高网

单晶炉热场及单晶炉制造技术

技术编号:40964577 阅读:4 留言:0更新日期:2024-04-18 20:44
本申请涉及一种单晶炉热场及单晶炉。单晶炉热场包括炉底组件和保温筒组件,炉底组件包括炉底固化毡及环形的垫板,炉底固化毡上侧凸设有同轴的圆凸台及环形凸台,环形凸台的内径大于圆凸台的外径,垫板同轴套设在圆凸台与环形凸台之间,垫板的外径与环形凸台的内径相等;保温筒组件包括保温筒及覆盖于保温筒外周壁上的固毡筒,保温筒组件的底部支撑于炉底固化毡上并套设于圆凸台与环形凸台之间,固毡筒的底端外周设有环形台阶槽,环形台阶槽与保温筒同轴,垫板嵌设在环形台阶槽内,环形台阶槽的内径与垫板的内径相等。本申请通过环形台阶槽与垫板实现保温筒组件的有效对中固定,热场对中性好,降低人工干预度,可以适配自动化拆装设备的要求。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及单晶硅生产,特别是涉及一种单晶炉热场及单晶炉


技术介绍

1、拉晶自动化是单晶硅制备的发展趋势。单晶炉热场是直拉单晶炉结构的重要组成部分,其中,单晶炉热场的对中精度要求很高。

2、相关技术中,单晶炉热场装配结构包括炉底结构和保温筒结构,其中,炉底结构通常为炉底保温固化毡、炉底固化环毡及多层软毡的组合结构,保温筒结构通常为保温筒外包裹多层软毡的结构。然而,炉底结构中的软毡会导致器盖距波动,而且炉底结构复杂,需要人工进行拆装;保温筒包裹软毡对拆清设备抓取保温筒结构后的对中精度产生不利影响,对中性差,难以适配自动化拆清设备要求,自动化拆清设备拆装单晶炉热场时自动对中困难,需要人工干预进行对中。因此,亟需解决单晶炉热场结构复杂,对中性差,难以实现自动化拆清流程的问题。


技术实现思路

1、基于此,有必要针对单晶炉热场结构复杂,对中性差,难以实现自动化拆清流程的问题,提供一种单晶炉热场及单晶炉。

2、第一方面,本申请提供一种单晶炉热场,包括:

3、炉底组件,包括炉底固化毡及环形的垫板,所述炉底固化毡上侧凸设有圆凸台及环形凸台,所述环形凸台与所述圆凸台同轴,所述环形凸台的内径大于所述圆凸台的外径,所述垫板同轴套设在所述圆凸台与所述环形凸台之间,所述垫板的外径与所述环形凸台的内径相等;

4、保温筒组件,包括保温筒及覆盖于所述保温筒外周壁上的固毡筒,所述保温筒组件的底部支撑于所述炉底固化毡上,并套设于所述圆凸台与所述环形凸台之间,所述固毡筒的底端外周设有环形台阶槽,所述环形台阶槽与所述保温筒同轴,所述垫板嵌设在所述环形台阶槽内,所述环形台阶槽的内径与所述垫板的内径相等。

5、在其中一个实施例中,所述垫板为碳碳复合材料制件;和/或,所述垫板的高度大于或者等于所述环形台阶槽的深度。

6、在其中一个实施例中,所述圆凸台的高度大于所述环形凸台的高度;和/或,所述垫板的高度大于或者等于所述环形凸台的高度。

7、在其中一个实施例中,所述圆凸台的外周壁上设有多个凹槽,多个所述凹槽相对于所述圆凸台的中心轴线呈中心对称分布。

8、在其中一个实施例中,所述炉底组件还包括拖杆护套,所述拖杆护套的顶端外周凸设有凸边;所述圆凸台上开设有拖杆孔,所述拖杆护套安装于所述拖杆孔内,所述凸边的外径大于所述拖杆孔的内径;

9、和/或,所述炉底组件还包括导气罩,所述导气罩具有头部;所述圆凸台上开设有导气孔,所述导气罩安装于所述导气孔内,所述头部的外径大于所述导气孔的内径。

10、在其中一个实施例中,所述炉底组件还包括护盘压片,所述护盘压片设置在所述圆凸台的顶面上,所述护盘压片上开设有过孔,所述过孔与所述拖杆孔沿所述拖杆孔的轴向相对设置;所述护盘压片的背离所述圆凸台的侧面上设有凸筋,所述凸筋环绕所述过孔设置。

11、在其中一个实施例中,所述保温筒包括由上至下依次设置的上筒体及多个中下筒体,所述固毡筒包括固定连接于所述上筒体的上部固化毡以及分别固定连接于多个所述中下筒体的多个中下部固化毡;其中,所述上部固化毡的底部、所述中下部固化毡的顶部及底部均设有配合台阶槽,以对所述固毡筒进行对中定位;

12、和/或,所述保温筒与所述固毡筒之间设有防氧化涂层。

13、在其中一个实施例中,所述保温筒组件上设有贯穿所述保温筒与所述固毡筒的加料口;所述单晶炉热场还包括挡板组件,所述挡板组件包括安装壳与挡板,所述安装壳设置于所述固毡筒上并覆盖所述加料口,所述安装壳上对应于所述加料口开设有贯通的挡板孔,所述挡板孔与所述加料口连通;所述挡板活动设于所述安装壳,以打开或者关闭所述加料口。

14、在其中一个实施例中,所述安装壳为碳碳复合材料制件;

15、和/或,所述安装壳嵌设于所述固毡筒的筒壁内,所述安装壳内设有安装槽,所述挡板孔与所述安装槽连通,所述挡板活动设于所述安装槽内。

16、在其中一个实施例中,所述挡板滑动设于所述安装槽内,所述挡板具有相背离设置的第一侧面和第二侧面;其中,所述第一侧面能够与所述安装槽的设有所述挡板孔的内侧壁相贴合,所述第二侧面为相对于所述第一侧面沿所述挡板的滑动方向倾斜设置的斜面,以对所述挡板的滑动运动进行导向。

17、在其中一个实施例中,所述挡板组件还包括调节件及驱动件,所述调节件与所述挡板活动连接,所述驱动件与所述调节件固定连接,所述驱动件用以驱动所述调节件移动,所述调节件带动所述挡板移动打开或者关闭所述加料口;所述调节件配置为使所述挡板能够相对于所述调节件转动及沿所述调节件的延伸方向移动,其中,所述挡板的转动轴线垂直于所述调节件的延伸方向。

18、第二方面,本申请提供一种单晶炉,包括炉体、加热器以及如第一方面任一项所述的单晶炉热场,所述单晶炉热场设置在所述炉体内,所述加热器设置在所述单晶炉热场内。

19、上述单晶炉热场及单晶炉,通过设置炉底固化毡和固毡筒,形成全固化毡热场,保温性能好,结构简单,便于使用自动化拆清设备进行整体式拆装,拆装方便,并且整体式结构的炉底固化毡没有缝隙,可以有效阻挡硅液下流,有效防止漏硅,保护热场安全;通过设置垫板和环形台阶槽,垫板配合炉底固化毡使用,通过环形台阶槽的台阶面实现保温筒组件的有效对中固定,避免固毡筒对拆清设备抓取保温筒组件后的对中精度产生影响,热场对中性好,降低人工干预度,可以适配自动化拆装设备的要求,有利于实现自动化拆清流程,有效提高自动化程度,解决单晶炉热场结构复杂,对中性差,难以实现自动化拆清流程,自动化程度低的问题。

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【技术保护点】

1.一种单晶炉热场,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述垫板为碳碳复合材料制件;和/或,所述垫板的高度大于或者等于所述环形台阶槽的深度。

3.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述圆凸台的高度大于所述环形凸台的高度;和/或,所述垫板的高度大于或者等于所述环形凸台的高度。

4.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述圆凸台的外周壁上设有多个凹槽,多个所述凹槽相对于所述圆凸台的中心轴线呈中心对称分布。

5.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述炉底组件还包括拖杆护套,所述拖杆护套的顶端外周凸设有凸边;所述圆凸台上开设有拖杆孔,所述拖杆护套安装于所述拖杆孔内,所述凸边的外径大于所述拖杆孔的内径;

6.根据权利要求5所述的单晶炉热场,其特征在于,所述炉底组件还包括护盘压片,所述护盘压片设置在所述圆凸台的顶面上,所述护盘压片上开设有过孔,所述过孔与所述拖杆孔沿所述拖杆孔的轴向相对设置;所述护盘压片的背离所述圆凸台的侧面上设有凸筋,所述凸筋环绕所述过孔设置。

>7.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述保温筒包括由上至下依次设置的上筒体及多个中下筒体,所述固毡筒包括固定连接于所述上筒体的上部固化毡以及分别固定连接于多个所述中下筒体的多个中下部固化毡;其中,所述上部固化毡的底部、所述中下部固化毡的顶部及底部均设有配合台阶槽,以对所述固毡筒进行对中定位;

8.根据权利要求1至7任一项所述的单晶炉热场,其特征在于,所述保温筒组件上设有贯穿所述保温筒与所述固毡筒的加料口;

9.根据权利要求8所述的单晶炉热场,其特征在于,所述安装壳为碳碳复合材料制件;

10.根据权利要求9所述的单晶炉热场,其特征在于,所述挡板滑动设于所述安装槽内,所述挡板具有相背离设置的第一侧面和第二侧面;其中,所述第一侧面能够与所述安装槽的设有所述挡板孔的内侧壁相贴合,所述第二侧面为相对于所述第一侧面沿所述挡板的滑动方向倾斜设置的斜面,以对所述挡板的滑动运动进行导向。

11.根据权利要求8所述的单晶炉热场,其特征在于,所述挡板组件还包括调节件及驱动件,所述调节件与所述挡板活动连接,所述驱动件与所述调节件固定连接,所述驱动件用以驱动所述调节件移动,所述调节件带动所述挡板移动打开或者关闭所述加料口;

12.一种单晶炉,其特征在于,包括炉体、加热器以及如权利要求1至11任一项所述的单晶炉热场,所述单晶炉热场设置在所述炉体内,所述加热器设置在所述单晶炉热场内。

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【技术特征摘要】

1.一种单晶炉热场,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述垫板为碳碳复合材料制件;和/或,所述垫板的高度大于或者等于所述环形台阶槽的深度。

3.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述圆凸台的高度大于所述环形凸台的高度;和/或,所述垫板的高度大于或者等于所述环形凸台的高度。

4.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述圆凸台的外周壁上设有多个凹槽,多个所述凹槽相对于所述圆凸台的中心轴线呈中心对称分布。

5.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述炉底组件还包括拖杆护套,所述拖杆护套的顶端外周凸设有凸边;所述圆凸台上开设有拖杆孔,所述拖杆护套安装于所述拖杆孔内,所述凸边的外径大于所述拖杆孔的内径;

6.根据权利要求5所述的单晶炉热场,其特征在于,所述炉底组件还包括护盘压片,所述护盘压片设置在所述圆凸台的顶面上,所述护盘压片上开设有过孔,所述过孔与所述拖杆孔沿所述拖杆孔的轴向相对设置;所述护盘压片的背离所述圆凸台的侧面上设有凸筋,所述凸筋环绕所述过孔设置。

7.根据权利要求1所述的单晶炉热场,其特征在于,所述保温筒包括由上至下依次设置的上筒体及多个中下筒体,所述固毡筒包括固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:王唯佳赵磊徐炳珩万雪健陈养俊龚成杰
申请(专利权)人:晶科能源股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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