准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构制造技术

技术编号:9378727 阅读:172 留言:0更新日期:2013-11-27 21:16
本发明专利技术涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构,包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板,所述石墨平台底部设有下发热体,所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接,可随升降立柱一起上下移动。本发明专利技术结构合理,形成了一个动态六面热场,六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体,三组发热体均可独立控制,整个热场横向温度梯度小,熔化硅料时间短,提高单晶率,缩短工艺周期,提高了设备的生产效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构,包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板,所述保温体为箱体型,其内部的上方固定设有上发热体,保温体四周固定设有侧发热体,保温体中部设有石墨平台,石墨平台上平面置有石英坩埚,石英坩埚的四周设有坩埚护板,坩埚护板的上方设有坩埚盖板,其特征在于:所述石墨平台底部设有下发热体,下发热体、石墨平台与升降立柱连接,可上下移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:水川许柏
申请(专利权)人:安徽大晟新能源设备科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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