【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,包括保温体、侧发热体、上发热体、坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料和石墨平台,坩埚护板底部的外圈设有隔热环,隔热环置于石墨平台上。本技术结构合理,使保温体内的石墨平台上方的热量辐射不到石墨平台下部,满足了在生产中铸锭炉内部保持必要的温度梯度的需求,提高了设备的生产效率。【专利说明】 准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构
本技术属于准单晶铸锭炉
,特别涉及一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构。
技术介绍
准单晶是在准单晶铸锭炉上采用诱导式方法铸造结晶获得的,再经过开方,切片环节,可生产出的具有高转换率的准单晶硅片。其主要工艺是通过在准单晶铸锭炉石英坩埚的底部增加籽晶,并在真空和保护气氛状态下,采用精确分段控温,保证硅料融化时籽晶部分融化,由此长出单晶。目前,多晶硅铸锭炉是由保温体、上发热体、侧发热体、坩埚、石墨平台组成,控温时保温体内部的上下温度梯度控制困难,难以达到真空铸锭炉生产单晶硅的工艺要求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,以满足在生产中保温体内部保持合理的温度梯度,从而提高单晶率和设备的生产效率。为实现上述目的,本技术采用以下方案:一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,包括保温体、侧发热体、上发热体、坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料和石墨平台,其特征在于:石墨平台周边设有隔热环。所述保温体为箱体型,其内部的上方设有上发热体,保温体四周设有侧发热体,保温体中部设有石墨平台,石墨平台上平面置有石英坩埚,石英坩埚的四周设有坩埚护板, ...
【技术保护点】
一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,包括保温体、侧发热体、上发热体、坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料和石墨平台,所述保温体为箱体型,其内部的上方设有上发热体,保温体四周设有侧发热体,保温体中部设有石墨平台,石墨平台上平面置有石英坩埚,石英坩埚的四周设有坩埚护板,坩埚护板的上方设有坩埚盖板,石英坩埚的底部设有籽晶料,籽晶料的上方设有硅料;其特征在于:所述石墨平台周边设有隔热环,隔热环置于石墨平台上,位于坩埚护板底部的外圈。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:水川,许柏,汪光林,
申请(专利权)人:安徽大晟新能源设备科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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