准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构制造技术

技术编号:9578663 阅读:194 留言:0更新日期:2014-01-16 07:48
本实用新型专利技术涉及一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,包括保温体、侧发热体、上发热体、坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料和石墨平台,坩埚护板底部的外圈设有隔热环,隔热环置于石墨平台上。本实用新型专利技术结构合理,使保温体内的石墨平台上方的热量辐射不到石墨平台下部,满足了在生产中铸锭炉内部保持必要的温度梯度的需求,提高了设备的生产效率。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,包括保温体、侧发热体、上发热体、坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料和石墨平台,坩埚护板底部的外圈设有隔热环,隔热环置于石墨平台上。本技术结构合理,使保温体内的石墨平台上方的热量辐射不到石墨平台下部,满足了在生产中铸锭炉内部保持必要的温度梯度的需求,提高了设备的生产效率。【专利说明】 准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构
本技术属于准单晶铸锭炉
,特别涉及一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构。
技术介绍
准单晶是在准单晶铸锭炉上采用诱导式方法铸造结晶获得的,再经过开方,切片环节,可生产出的具有高转换率的准单晶硅片。其主要工艺是通过在准单晶铸锭炉石英坩埚的底部增加籽晶,并在真空和保护气氛状态下,采用精确分段控温,保证硅料融化时籽晶部分融化,由此长出单晶。目前,多晶硅铸锭炉是由保温体、上发热体、侧发热体、坩埚、石墨平台组成,控温时保温体内部的上下温度梯度控制困难,难以达到真空铸锭炉生产单晶硅的工艺要求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,以满足在生产中保温体内部保持合理的温度梯度,从而提高单晶率和设备的生产效率。为实现上述目的,本技术采用以下方案:一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,包括保温体、侧发热体、上发热体、坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料和石墨平台,其特征在于:石墨平台周边设有隔热环。所述保温体为箱体型,其内部的上方设有上发热体,保温体四周设有侧发热体,保温体中部设有石墨平台,石墨平台上平面置有石英坩埚,石英坩埚的四周设有坩埚护板,坩埚护板的上方设有坩埚盖板,石英坩埚的底部设有籽晶料,籽晶料的上方设有硅料;所述坩埚护板底部的外圈设有隔热环,隔热环置于石墨平台上。所述侧发热体与上发热体为发热部件,所产生的热量对坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料辐射,使其温度升高,硅料融化;保温体使得热量不得传到保温体外,而隔热环可以将发热部件所产生的热量在对下辐射时被阻挡,使得热量不能传导至石墨平台下部,这样就可以降低下部的温度,形成温度梯度。在高温化料时,有效地降低侧面护板温度对坩埚底部的影响,减少坩埚底部预埋籽晶熔化,使整个热场横向梯度幅度变化很小,有利于准单晶的生长。本技术结构合理,在保温体内对热辐射起到了阻隔作用,使保温体内的石墨平台上方的热量辐射不到石墨平台下部,满足了在生产中铸锭炉内部保持必要的温度梯度的需求,提高了设备的生产效率。【专利附图】【附图说明】图1为本技术的结构示意图。【具体实施方式】以下结合实施例及其附图对本技术做进一步详细的说明:如图1所示,一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,包括隔热环1、保温体2、侧发热体3、上发热体4、坩埚盖板5、坩埚护板6、石英坩埚7、硅料8、籽晶料9和石墨平台10。所述保温体2为箱体型,其内部的上方设有上发热体4,保温体2四周设有侧发热体3,保温体2中部设有石墨平台10,石墨平台10上平面置有石英坩埚7,石英坩埚7的四周设有坩埚护板6,坩埚护板6的上方设有坩埚盖板5,石英坩埚7的底部设有籽晶料9,籽晶料9的上方设有硅料8 ;所述坩埚护板6底部的外圈设有隔热环1,隔热环I置于石墨平台10上。以上所述的仅是本技术的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本技术原理的前提下,还可以作出若干变型和改进,这些也应视为属于本技术的保护范围。【权利要求】1.一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,包括保温体、侧发热体、上发热体、坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料和石墨平台,所述保温体为箱体型,其内部的上方设有上发热体,保温体四周设有侧发热体,保温体中部设有石墨平台,石墨平台上平面置有石英坩埚,石英坩埚的四周设有坩埚护板,坩埚护板的上方设有坩埚盖板,石英坩埚的底部设有籽晶料,籽晶料的上方设有硅料;其特征在于:所述石墨平台周边设有隔热环,隔热环置于石墨平台上,位于坩埚护板底部的外圈。【文档编号】C30B29/06GK203393259SQ201320463212【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年8月1日 优先权日:2013年8月1日 【专利技术者】水川, 许柏, 汪光林 申请人:安徽大晟新能源设备科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准单晶铸锭炉的带隔热环保温体结构,包括保温体、侧发热体、上发热体、坩埚盖板、坩埚护板、石英坩埚、硅料、籽晶料和石墨平台,所述保温体为箱体型,其内部的上方设有上发热体,保温体四周设有侧发热体,保温体中部设有石墨平台,石墨平台上平面置有石英坩埚,石英坩埚的四周设有坩埚护板,坩埚护板的上方设有坩埚盖板,石英坩埚的底部设有籽晶料,籽晶料的上方设有硅料;其特征在于:所述石墨平台周边设有隔热环,隔热环置于石墨平台上,位于坩埚护板底部的外圈。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:水川许柏汪光林
申请(专利权)人:安徽大晟新能源设备科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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