【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述石墨平台底部设有下发热体，所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可随升降立柱一起上下移动。本技术结构合理，形成了一个动态六面热场，六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体，三组发热体均可独立控制，整个热场横向温度梯度小，熔化硅料时间短，提高单晶率，缩短工艺周期，提高了设备的生产效率。【专利说明】准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构
本技术属于准单晶铸锭炉
，特别涉及一种铸锭炉的保温体内部热场结构。
技术介绍
在准单晶铸锭炉上采用诱导的方式，通过合理地热场控制生产出的具有高转换率的准单晶硅片。现在国内或国外准单晶铸锭炉加热方式采用美国GT铸锭炉五面式加热方式德国ALD铸锭炉上下加热方式，以上两种加热方式都有不足之处:1、美国GT铸锭炉五面式加热采用上加热器和四个侧面加热器，无下加热器，在准单晶铸锭过程中，熔化硅料时间长、整个热场横向热场温度梯度大，造成侧面籽晶熔化过多，不利于准单晶的生长。2、德国ALD铸锭炉采用上下加热器，无四个侧面加热器，在准单晶铸锭过程中，侧面热场温度跟不上，不利于准单晶生长。在准单晶的结晶过程中，控温时保温体内部的上下温度梯度控制困难，不能满足铸锭炉生产单晶硅的工艺要求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，以满足在单晶硅生产中保温体内部保持合理的温度梯度，从而提高设备的生产效率。为实现上述目的，本技术采用以下方案:一种准单晶铸锭炉...
【技术保护点】
一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述保温体为箱体型，其内部的上方固定设有上发热体，保温体四周固定设有侧发热体，保温体中部设有石墨平台，石墨平台上平面置有石英坩埚，石英坩埚的四周设有坩埚护板，坩埚护板的上方设有坩埚盖板，其特征在于：所述石墨平台底部设有下发热体，下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可上下移动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：水川，许柏，
申请(专利权)人：安徽大晟新能源设备科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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