【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，其特征在于：包括下发热体、固定件、电极立柱、固定板、垫块、托板、升降装置、传动软轴和电机；所述下发热体通过固定件安装在保温体内部的坩埚平台底面，下发热体安装有垂直设置的电极立柱，电极立柱向下伸出保温体及炉体后安装在固定板上，固定板通过绝缘垫板与托板连接；炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。本技术结构合理，使下发热体在铸锭炉保温体内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产的工艺要求。【专利说明】准单晶铸锭炉的下加热器升降机构
本技术属于准单晶铸锭炉
，特别涉及铸锭炉中下加热器升降机构。
技术介绍
准单晶是在多晶硅铸锭炉上采用铸造结晶的方式，经过一系列先进的工艺流程所生产出的具有高转换率的准单晶硅片。其主要工艺是通过在多晶硅铸锭炉石英坩埚的底部放置籽晶，并在真空状态下，采用精确分段控温，保证硅料融化时籽晶部分融化，由此长出单晶。目前国内的多晶硅铸锭炉主要是坩埚、平台不动，上发热体、侧发热体及上保温体上下移动。这种结构对多晶硅铸锭炉可以满足工艺要求，但由于原多晶硅铸锭炉没有下发热体，在生产准单晶硅的铸锭炉中就不能满足工艺要求。为了满足准单晶硅铸锭的要求，铸锭炉必须有严格的温度梯度及凝固速度控制，适合的界面形状，因此需要设置一个可做升降运动的下加热器。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可做升降运动的下加热器机构，以满足准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求:固液界面在最短时间内形成。为实现上述目的，本技术采用以下方案...
【技术保护点】
一种准单晶铸锭炉的下加热器升降机构，其特征在于：包括下发热体、固定件、电极立柱、固定板、垫块、托板、升降装置、传动软轴和电机；?所述下发热体通过固定件安装在保温体内部的坩埚平台底面，下发热体安装有垂直设置的电极立柱，电极立柱向下伸出保温体及炉体后安装在固定板上，固定板通过绝缘垫板与托板连接；炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：水川，许柏，
申请(专利权)人：安徽大晟新能源设备科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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