【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构，包括炉壳、移动立柱、支撑座，所述支撑座内设有真空密封橡胶圈、垫圈、油毡和压盖，所述炉壳内流通有冷却水。本技术结构合理，使坩埚平台升降装置的移动立柱在运动中能保持炉内的密封，不会有空气进入设备内部，满足其生产工艺要求,解决了在生产中铸锭炉内部保持真空的需求。【专利说明】准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构
本技术属于准单晶铸锭炉
，特别涉及准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构。
技术介绍
准单晶是在准单晶铸锭炉上采用诱导式方法铸造结晶获得的，再经过开方，切片环节，可生产出的具有高转换率的准单晶硅片。其主要工艺是通过在准单晶铸锭炉石英坩埚的底部增加籽晶，并在真空和保护气氛状态下，采用精确分段控温，保证硅料融化时籽晶部分融化，由此长出单晶。此项技术具备多晶硅铸锭高产出、高品质、低能耗的优点。产出的准单晶位错在允许范围内，光电转换效率明显高于多晶硅。这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术，其功耗只比普通多晶硅多5%，所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅。这种技术就是用多晶硅的成本...
【技术保护点】
一种准单晶铸锭炉坩埚平台升降装置的真空密封结构，包括炉壳、移动立柱、支撑座，其特征在于：所述支撑座内设有真空密封橡胶圈、垫圈、油毡和压盖；所述支撑座设置在炉壳底部，移动立柱置于中空的支撑座内部，支撑座的下端设有沉孔，沉孔内与移动立柱之间设有两个真空密封橡胶圈，两个真空密封橡胶圈的外圈之间设有垫圈，两个真空密封橡胶圈的内圈之间设有油毡，沉孔端部设有压盖。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：水川，许柏，
申请(专利权)人：安徽大晟新能源设备科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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