【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多晶铸锭用坩埚的表面处理方法,其特征在于,包括以下步骤:(1).将已经成型的多晶铸锭用石英坩埚放置在密闭炉体内,将炉体升温,并做抽真空处理;(2).在步骤(1)中的炉体内的压强达到某一阈值时,采用惰性气体置换炉体内的空气;(3).当步骤(2)中的炉体内的温度达到某一阈值时,对炉体内充入活性气体;(4).在高温高压条件下,炉体内的活性气体和坩埚内的杂质发生气‑固反应,生成的化合物挥发出来;(5).在炉体内的活性气体和坩埚内的杂质充分反应一定时间后,将炉体内的气体抽到炉体外,步骤(4)中生成的化合物在低温条件下变为固体分离出来,再把分离出来的惰性气体以及未反应的活性气体的混合气体充入炉体内循环利用;(6).取出对经过步骤(5)处理过后的石英坩埚,再采用酸溶液进行清理,烘干和包装。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郭宽新,宋江,梁会宁,胡元庆,张斌,
申请(专利权)人:奥特斯维能源太仓有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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