直拉式单晶炉的可调托晶盘装置制造方法及图纸

一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置，它包副室、副室下法兰、托晶盘，托晶盘与摇臂连接，导向套焊接在副室下法兰侧面，导向套筋板与副室下法兰上平面、导向套焊接，导向套内安装弹簧，导向座安装在导向套上端，带外螺纹的连接销轴从下向上穿过摇臂定位孔、导向套、弹簧、导向座，用两个调节螺母锁定，摇臂与连接销轴采用台阶孔套接。它结构合理，设计巧妙，体积小，稍用力就可实现可调托晶盘下移，自动上移平稳。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及单晶炉装置领域，尤其是指一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置。
技术介绍
直拉式单晶炉是生产太阳能电池用单晶硅和集成电路及单晶硅的的主要设备。随着太阳能电池硅材料的尺寸越来越大。以及集成电路对单晶材料的品质要求越来越高。 对与之相对应的单晶生长设备的自动化程度和长期使用的稳定性提出了更高的要求。托晶盘是直拉式单晶炉的必备部件，它直接影响副室在自动左右旋转的晶体炉上工作运行的平稳性和安全性能。中国专利曾公开了一种“带可旋转托盘的单晶炉”(中国，公告号 CN2764789Y，公告日2006年3月15日)，主要包括一单晶炉，该单晶炉由炉体、上转电机、上升降电机、下升降电机、导轨、螺杆、托盘组成，所述托盘被制成一转盘，该转盘由一下转电机驱动。采用本技术的带可旋转托盘的单晶炉，且通过控制托盘旋转方向与转速，可有效克服晶体生长中的组分偏聚现象。但它没有涉及到托晶盘装置的具体结构。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置，它结构合理，设计巧妙，体积小，稍用力就可实现可调托晶盘下移，自动上移平稳。为达到上述目的，本专利技术创造采取的方案是一种直拉式单晶炉的可本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置，它包副室（８）、副室下法兰（１０）、托晶盘（２），其特征是：托晶盘（２）与摇臂（１）连接，导向套（３）焊接在副室下法兰（１０）侧面，导向套筋板（７）与副室下法兰（１０）上平面、导向套（３）焊接，导向套（３）内安装弹簧（９），导向座（４）安装在导向套（３）上端，带外螺纹的连接销轴（６）从下向上穿过摇臂（１）定位孔、导向套（３）、弹簧（９）、导向座（４），用两个调节螺母（５）锁定，摇臂（１）与连接销轴（６）采用台阶孔套接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周云龙，刘存华，
申请(专利权)人：温州永泰电器有限公司，
类型：发明
国别省市：33