一种防止拉晶时产生谐振抖动的重锤制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防止拉晶时产生谐振抖动的重锤。包括重锤（１）；重锤（１）的直径（Ｄ）为１８０～２２０ｍｍ。与现有技术相比，本实用新型专利技术由于加大了重锤的直径，因此使得重锤的重量增加，避开了谐振点，可以消除拉晶时晶种的抖动现象，提高成晶的成品率。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种防谐振装置，特别是一种防止拉晶时产生谐振抖动的重锤。
技术介绍
在半导体生产中硅单晶是最重要的基本材料。其拉晶过程是把原料多硅晶块放入石英 坩埚中，在单晶炉中加热融化，再将一根棒状晶种浸入融液中，融液中的硅原子会顺着晶种 的硅原子排列，在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体。把晶种向上提升，融液中的 硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶，并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境 稳定，就可以周而复始的形成结晶，最后形成一根圆柱形的原子排列整齐的硅单晶晶体，即 硅单晶锭。晶种在向上提升的过程中，要求提升速度保持恒定不变，也不能出现左右晃动，如果出 现提升速度不稳定或左右晃动，将会造成单晶拉制失败。现有的晶种提升装置在提升过程中 ，有时会产生抖动，严重影响了拉晶的成品率。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种防止拉晶时产生谐振抖动的重锤，以消除拉晶时晶种 的抖动现象，提高成晶的成品率。本技术的技术方案 一种防止拉晶时产生谐振抖动的重锤，包括重锤，重锤的直径为180 220mm。上述的防止拉晶时产生谐振抖动的重锤中，所述重锤的直径为200mm最佳。 与现有技术相比，本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防止拉晶时产生谐振抖动的重锤，它包括重锤（１）；其特征在于：重锤（１）的直径（Ｄ）为１８０～２２０ｍｍ。

【技术特征摘要】
权利要求1一种防止拉晶时产生谐振抖动的重锤，它包括重锤(1)；其特征在于重锤(1)的直径(D)为180～22...

【专利技术属性】
技术研发人员：何紫平，胥敬东，丁宇翔，
申请(专利权)人：湖州新元泰微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]