单晶炉的提升机构制造技术

技术编号:5191711 阅读:160 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种单晶炉装置,尤其是单晶炉的提升机构。它包括底座以及设于底座上的支架、单晶炉与提升装置,单晶炉包括炉体、翻板箱与副炉,提升装置包括第一提升油缸与第二提升油缸,第一提升油缸与第二提升油缸固定在底座上,第一提升油缸与炉体连接用于提升炉体,第二提升油缸与翻板箱与副炉连接,第二提升油缸的缸杆设于支架上并与支架滑动配合,支架上设有一级限位机构和二级限位机构,缸杆上设有与一级限位机构、二级限位机构相配合的第一限位板与第二限位板。本实用新型专利技术的有益好处是结构简单实用,稳定性好,操作方便,提高了工作效率。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉装置,尤其是单晶炉的提升机构
技术介绍
目前,直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列,用它来制作人工晶体,单 晶生长速度最高,最容易实现人工控制,因此也获得了最广泛的应用。为了生长出大尺寸和 高质量的单晶,人类几乎动用了一切先进的手段。可以说,在单晶炉上集成了材料、机械、电 气、计算机、磁、光、仪等多方面的高端知识和技术,是一个国家机电一体化设备制造水平的 反映。硅单晶体作为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其它电子元件。大部分的 半导体硅单晶体采用直拉法制造,一般采用如下制造方法多晶硅被装进石英坩埚内,加热 熔化,然后,将熔硅略做降温,给予一定的过冷度,把一交特定晶向的硅单晶体(称作籽晶) 装入硅籽晶夹持器中,将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接,籽晶固定于夹持器 的下端,并且使籽晶与硅熔体接触,通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度,使籽晶体 长大,在晶体长到需要的大小时候,就需要取出,取出晶体需要将单晶炉进行拆开后才行, 所以需要一种机构用于拆分单晶炉。
技术实现思路
本技术提供一种单晶炉的提升机构,它用在单晶炉娶晶硅时拆分单晶炉,它 具有稳定、安全、迅速的优点。实现本技术目的的技术方案如下单晶炉的提升机构,它包括底座以及设于底座上的支架、单晶炉与提升装置,单晶 炉包括炉体、翻板箱与副炉,提升装置包括第一提升油缸与第二提升油缸,第一提升油缸与 第二提升油缸固定在底座上,第一提升油缸与炉体连接用于提升炉体,第二提升油缸与翻 板箱与副炉连接,第二提升油缸的缸杆设于支架上并与支架滑动配合,支架上设有一级限 位机构和二级限位机构,缸杆上设有与一级限位机构、二级限位机构相配合的第一限位板 与第二限位板。所述的第二提升油缸的缸杆上设有三个连接套,其中一个连接套与翻板箱连接, 另外两个连接套与副炉连接,连接套与缸杆周向活动连接。所述的连接套通过连接板与翻板箱、副炉相连。采用了上述方案,第二提升油缸用于提升翻板箱与副炉,第二提升油缸启动时先 开始提升副炉,当第二提升油缸的缸杆上第一限位板触碰一级限位机构,此时油缸停止工 作,此时将翻板箱内充氧气,然后继续启动第二提升油缸继续提升,当第二限位板与二级限 位机构触碰时,第二提升油缸停止提升工作,因为缸杆通过连接套、连接板与副炉连接,连 接套与缸杆周向活动连接,此时就可以将副炉与翻板箱以缸杆为轴移动开,这样就能将单 晶炉中的晶硅取出,需要加料换料时,只需要启动第一提升油缸将炉体提升就可以进行加 料。本技术的有益好处是结构简单实用,稳定性好,操作方便,提高了工作效率。附图说明图1为本技术的结构示意图;图中,1、底座,2、第一提升油缸,3、炉体,4、翻板箱,5、副炉,6、支架,7、连接套,8、 缸杆,9、二级限位机构,10、第二限位板,11、一级限位机构,12、第一限位板,13、第二提升油 缸,14、连接板。具体实施方式如图1所示,单晶炉的提升机构,它包括底座1以及设于底座1上的支架6、单晶炉 与提升装置,单晶炉包括炉体3、翻板箱4与副炉5,提升装置包括第一提升油缸2与第二提 升油缸13,第一提升油缸2与第二提升油缸13固定在底座1上,第一提升油缸2与炉体3 连接用于提升炉体3,第二提升油缸13与翻板箱4与副炉5连接,第二提升油缸13的缸杆 8设于支架6上并与支架6滑动配合,第二提升油缸13的缸杆8上设有三个连接套7,其中 一个连接套7与翻板箱4连接,另外两个连接套7与副炉5连接,连接套7与缸杆8周向活 动连接,连接套7通过连接板14与翻板箱4、副炉5相连支架6上设有一级限位机构11和 二级限位机构9,缸杆8上设有与一级限位机构11、二级限位机构9相配合的第一限位板12 与第二限位板10。工作时,第一提升油缸2用于提升炉体3,第二提升油缸13工作时,提升副炉5,当 第一限位板触12碰一级限位机构11,此时油缸停止工作,此时将翻板箱4内充氧气,然后继 续启动第二提升油缸13继续提升,当第二限位板10与二级限位机构9触碰时,第二提升油 缸13又停止提升工作,此时就可以取出晶硅。本文档来自技高网...

【技术保护点】
单晶炉的提升机构,其特征在于:它包括底座以及设于底座上的支架、单晶炉与提升装置,单晶炉包括炉体、翻板箱与副炉,提升装置包括第一提升油缸与第二提升油缸,第一提升油缸与第二提升油缸固定在底座上,第一提升油缸与炉体连接用于提升炉体,第二提升油缸与翻板箱与副炉连接,第二提升油缸的缸杆设于支架上并与支架滑动配合,支架上设有一级限位机构和二级限位机构,第二提升油缸的缸杆上设有与一级限位机构、二级限位机构相配合的第一限位板与第二限位板。

【技术特征摘要】
1.单晶炉的提升机构,其特征在于它包括底座以及设于底座上的支架、单晶炉与提 升装置,单晶炉包括炉体、翻板箱与副炉,提升装置包括第一提升油缸与第二提升油缸,第 一提升油缸与第二提升油缸固定在底座上,第一提升油缸与炉体连接用于提升炉体,第二 提升油缸与翻板箱与副炉连接,第二提升油缸的缸杆设于支架上并与支架滑动配合,支架 上设有一级限位机构和二级限位机构,第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈荣兴
申请(专利权)人:江苏创大光伏科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]

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