单晶炉的籽晶提拉旋转机构制造技术

技术编号:5191858 阅读:277 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及单晶炉装置领域,尤其是一种单晶炉的籽晶提拉旋转机构。它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的箱体,箱体内包括两个转轴,一个转轴随电机转动,该转轴上固定有卷轮,卷轮侧面设有片状齿轮,卷轮上设有钢丝绳,另一个转轴上设有配重块,该配重块与片状齿轮通过齿啮合连接,钢丝绳下端设有连接体,连接体与重锤连接,重锤端部设有用于夹持籽晶的卡头。本实用新型专利技术的好处是能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好,降低设备高度达90%,达到理想的使用效果,大幅度提高了产品的正品率,且结构简单,制作使用成本低,维修和使用简便效果好。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉装置领域,尤其是一种单晶炉的籽晶提拉旋转机构
技术介绍
传统的单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料,单晶硅炉包括硅半导体材料生长合 成的主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动糸统。传统的单晶硅炉的硅籽 晶提升结构采用硬轴旋转和提拉,从而使中心轴较长,造成设备高度较大较高,且旋转提拉 稳定性差,造成产品正品率低,使用制作成本高,维修麻烦。
技术实现思路
本技术针对上述技术中存在的缺点,提供一种单晶炉的籽晶提拉旋转机构, 它具有提拉平稳的优点,克服了上述技术中存在的不足之处。实现本技术目的的技术方案如下单晶炉的籽晶提拉旋转机构,它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的箱体,箱体 内包括两个转轴,一个转轴随电机转动,该转轴上固定有卷轮,卷轮侧面设有片状齿轮,卷 轮上设有钢丝绳,另一个转轴上设有配重块,该配重块与片状齿轮通过齿啮合连接,钢丝绳 下端设有连接体,连接体与重锤连接,重锤端部设有用于夹持籽晶的卡头。所述的箱体上设有阻尼套出线口,钢丝绳从该阻尼套出线口穿出与连接体连接。所述的连接体内设有小电机,该小电机通过联轴器与重锤连接。采用了上述方案,钢丝绳代替了硬轴大大降低了设备的高度,采用配重块的配合, 使得卷轮在卷钢丝时不会一边侧重,是配重块起到平衡、稳定的作用。本技术的好处是能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好,降低设备高度达 90%,达到理想的使用效果,大幅度提高了产品的正品率,且结构简单,制作使用成本低,维 修和使用简便效果好。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为图1的俯视图。具体实施方式如图1、图2所示,单晶炉的籽晶提拉旋转机构,它包括驱动电机1以及由驱动电机 1驱动的箱体6,箱体6内包括两个转轴,一个转轴4随电机转动,该转轴4上固定有卷轮2, 卷轮2侧面设有片状齿轮3,卷轮2上设有钢丝绳8,另一个转轴41上设有与其螺纹连接的 配重块5,该配重块5与片状齿轮3通过齿啮合连接,钢丝绳8下端设有连接体9,连接体9 由它内部设置的小电机10通过联轴器与重锤11连接,重锤11端部设有用于夹持籽晶的卡 头12,箱体6上设有阻尼套出线口 7,钢丝绳8从该阻尼套出线口 7穿出与连接体9连接,工作时驱动电机1驱动转轴4转动,使卷轮3收放钢丝,卷轮3转动时,片状齿轮3也转动, 片状齿轮3带动配重块5在转轴41上转动,远离和接近卷轮3,使整个机构达到平衡。本文档来自技高网...

【技术保护点】
单晶炉的籽晶提拉旋转机构,其特征在于:它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的箱体,箱体内包括两个转轴,一个转轴随电机转动,该转轴上固定有卷轮,卷轮侧面设有片状齿轮,卷轮上设有钢丝绳,另一个转轴上设有配重块,该配重块与片状齿轮通过齿啮合连接,钢丝绳下端设有连接体,连接体与重锤连接,重锤端部设有用于夹持籽晶的卡头。

【技术特征摘要】
1.单晶炉的籽晶提拉旋转机构,其特征在于它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的 箱体,箱体内包括两个转轴,一个转轴随电机转动,该转轴上固定有卷轮,卷轮侧面设有片 状齿轮,卷轮上设有钢丝绳,另一个转轴上设有配重块,该配重块与片状齿轮通过齿啮合连 接,钢丝绳下端设有连接体,连接体与重锤连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈荣兴
申请(专利权)人:江苏创大光伏科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]

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