一种单晶炉旋转机构的轴密封结构制造技术

技术编号:6132177 阅读:194 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种单晶炉旋转机构的轴密封装置,属于轴密封技术领域。该单晶炉旋转机构的轴密封装置包括相互配合的石墨静环及石墨动环,石墨静环通过静环密封圈安装在顶盖上;石墨动环安装在密封环座的下端面,密封环座的上端面连接在弹簧活动座上,弹簧活动座与密封环座的相向端面之间通过动环密封圈实现密封,弹簧活动座与弹簧固定座之间设有弹簧,弹簧固定座上设有螺钉孔,紧顶螺钉拧入螺钉孔将弹簧固定座锁紧在旋转轴上。静环密封圈设有相互嵌套的两个,动环密封圈设有相互嵌套的两个。该轴密封装置运转一段时间后,石墨动环和石墨静环的密封面微量磨损,弹簧的推力仍然可以保持两密封环之间良好的密封。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种单晶炉旋转机构的轴密封装置,属于轴密封

技术介绍
目前,通常使用单晶炉制取单晶硅,一般采用如下方法制造将多晶硅装进石英坩 埚内,加热熔化,然后,将熔硅略做降温,给予一定的过冷度,把籽晶装入硅籽晶夹持器中, 将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接,籽晶固定于夹持器的下端,并且使籽晶与 硅熔体接触,通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度,使籽晶体长大。在生产过程中,单晶炉炉体内需要保持一定的真空度,旋转机构的轴穿过顶盖必 须实现密封,目前多采用填料密封,填料密封的特点是如果填料压得过紧,将加快轴的磨 损,过松则密封性能不好。往往在使用初期,填料压紧到合适的程度,密封效果较好,随着使 用时间的延长,其密封性能下降。由于单晶炉旋转机构位置比较高,操作人员爬到高位检查 不太方便,泄漏产生时不易察觉。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,克服现有技术中存在的问题,提供一种单晶炉旋转机构的轴 密封装置,自身具备一定弹性,长时间运转后,仍然能保持良好的密封。为解决以上技术问题,本专利技术所提供的一种单晶炉旋转机构的轴密封装置,包括 密封面相互配合的石墨静环及石墨动环;所述石墨静环安装在顶盖的台阶孔中,石墨静环 的下端面与所述台阶孔之间通过静环密封圈实现密封,所述石墨静环的下端面上设有静环 固定槽,台阶孔上设有插入所述静环固定槽中且与静环固定槽相适配的静环销钉;所述石 墨动环安装在密封环座的下端面上,所述密封环座的上端面连接在弹簧活动座上,所述弹 簧活动座与所述密封环座的相向端面之间通过动环密封圈实现密封,所述密封环座的上端 面上设有密封环座销钉孔,所述弹簧活动座的下端面上设有与所述密封环座销钉孔相适配 的弹簧活动座销钉,所述弹簧活动座销钉插入所述密封环座销钉孔中;所述弹簧活动座与 弹簧固定座之间设有弹簧,所述弹簧固定座上设有螺钉孔,紧定螺钉拧入所述螺钉孔将弹 簧固定座锁紧在旋转轴上。相对于现有技术,本专利技术取得了以下有益效果密封通过石墨动环和石墨静环的 相向端面实现的,石墨比较耐磨且具有自润滑功能,运转一段时间后,石墨动环和石墨静环 的密封面微量磨损,弹簧的推力仍然可以保持两密封环之间良好的密封。作为本专利技术的优选方案,所述静环密封圈设有相互嵌套的两个。作为本专利技术的优选方案,所述动环密封圈设有相互嵌套的两个。附图说明图1为本专利技术单晶炉旋转机构的轴密封装置的分解示意图。图2为图1中石墨静环沿A-A的下端面视图。图3为本专利技术单晶炉旋转机构的轴密封装置的安装示意图。图4为图3中轴套的放大图。图5为图4的B向视图。图中1弹簧固定座、Ia螺钉孔、Ib紧定螺钉、2弹簧、3弹簧活动座、3a弹簧活动座 销钉、4第一动环密封圈、5第二动环密封圈、6密封环座、6a密封环座销钉孔、6b石墨动环、 7石墨静环、7a静环固定槽、8第一静环密封圈、9第二静环密封圈、10旋转轴、11轴套、Ila 键槽、1 Ib轴套端面密封槽、12顶盖、12a静环销钉、13键、14轴套端面密封圈。具体实施例方式如图1、图2及图3所示,本专利技术的单晶炉旋转机构的轴密封装置包括密封面相互 配合的石墨静环7及石墨动环6b。石墨静环7安装在顶盖12的台阶孔中,石墨静环7的下端面与台阶孔之间通过静 环密封圈实现密封,静环密封圈包括相互嵌套的第一静环密封圈8和第二静环密封圈9。石 墨静环7的下端面上设有静环固定槽7a,台阶孔上设有静环固定槽7a相适配的静环销钉 12a,静环销钉1 插入静环固定槽7a中使静环不能转动。石墨动环6b安装在密封环座6的下端面上且两者连为一体,密封环座6的上端面 连接在弹簧活动座3上,弹簧活动座3与密封环座6的相向端面之间通过动环密封圈实现 密封,动环密封圈包括相互嵌套的第一动环密封圈4和第二动环密封圈5。密封环座6的上 端面上设有密封环座销钉孔6a,弹簧活动座3的下端面上设有与密封环座销钉孔6a相适配 的弹簧活动座销钉3a,弹簧活动座销钉3a插入密封环座销钉孔6a中;弹簧活动座3与弹 簧固定座1之间设有弹簧2,弹簧固定座1上设有螺钉孔la,紧定螺钉Ib拧入螺钉孔Ia将 弹簧固定座1锁紧在旋转轴10上。如图3、图4及图5所示,为了保护旋转轴10,在旋转轴10上套装有轴套11,轴套 11内壁设有键槽Ila并通过键13与旋转轴10连接,弹簧固定座1锁紧在轴套11的外壁, 轴套11的下端面上设有轴套端面密封槽11b,轴套端面密封槽lib中安装有轴套端面密封 圈14。除上述实施例外,本专利技术还可以有其它实施方式,凡采用等同替换或等效变换形 成的技术方案,均落在本专利技术要求的保护范围内。权利要求1.一种单晶炉旋转机构的轴密封装置,其特征是包括密封面相互配合的石墨静环及 石墨动环;所述石墨静环安装在顶盖的台阶孔中,石墨静环的下端面与所述台阶孔之间通 过静环密封圈实现密封,所述石墨静环的下端面上设有静环固定槽,台阶孔上设有插入所 述静环固定槽中且与静环固定槽相适配的静环销钉;所述石墨动环安装在密封环座的下端 面上,所述密封环座的上端面连接在弹簧活动座上,所述弹簧活动座与所述密封环座的相 向端面之间通过动环密封圈实现密封,所述密封环座的上端面上设有密封环座销钉孔,所 述弹簧活动座的下端面上设有与所述密封环座销钉孔相适配的弹簧活动座销钉,所述弹簧 活动座销钉插入所述密封环座销钉孔中;所述弹簧活动座与弹簧固定座之间设有弹簧,所 述弹簧固定座上设有螺钉孔,紧定螺钉拧入所述螺钉孔将弹簧固定座锁紧在旋转轴上。2.根据权利要求1所述的单晶炉旋转机构的轴密封装置,其特征是,所述静环密封圈 设有相互嵌套的两个。3.根据权利要求1或2所述的单晶炉旋转机构的轴密封装置,其特征是,所述动环密封 圈设有相互嵌套的两个。全文摘要本专利技术公开了一种单晶炉旋转机构的轴密封装置,属于轴密封
该单晶炉旋转机构的轴密封装置包括相互配合的石墨静环及石墨动环,石墨静环通过静环密封圈安装在顶盖上;石墨动环安装在密封环座的下端面,密封环座的上端面连接在弹簧活动座上,弹簧活动座与密封环座的相向端面之间通过动环密封圈实现密封,弹簧活动座与弹簧固定座之间设有弹簧,弹簧固定座上设有螺钉孔,紧顶螺钉拧入螺钉孔将弹簧固定座锁紧在旋转轴上。静环密封圈设有相互嵌套的两个,动环密封圈设有相互嵌套的两个。该轴密封装置运转一段时间后,石墨动环和石墨静环的密封面微量磨损,弹簧的推力仍然可以保持两密封环之间良好的密封。文档编号C30B15/30GK102140677SQ20111008876公开日2011年8月3日 申请日期2011年4月11日 优先权日2011年4月11日专利技术者夏伟, 朱仲宝 申请人:江苏宝佳太阳能发展有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种单晶炉旋转机构的轴密封装置,其特征是:包括密封面相互配合的石墨静环及石墨动环;所述石墨静环安装在顶盖的台阶孔中,石墨静环的下端面与所述台阶孔之间通过静环密封圈实现密封,所述石墨静环的下端面上设有静环固定槽,台阶孔上设有插入所述静环固定槽中且与静环固定槽相适配的静环销钉;所述石墨动环安装在密封环座的下端面上,所述密封环座的上端面连接在弹簧活动座上,所述弹簧活动座与所述密封环座的相向端面之间通过动环密封圈实现密封,所述密封环座的上端面上设有密封环座销钉孔,所述弹簧活动座的下端面上设有与所述密封环座销钉孔相适配的弹簧活动座销钉,所述弹簧活动座销钉插入所述密封环座销钉孔中;所述弹簧活动座与弹簧固定座之间设有弹簧,所述弹簧固定座上设有螺钉孔,紧定螺钉拧入所述螺钉孔将弹簧固定座锁紧在旋转轴上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱仲宝夏伟
申请(专利权)人:江苏宝佳太阳能发展有限公司
类型:发明
国别省市:32

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