一种单晶炉的真空系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种单晶炉的真空系统，属于单晶炉技术领域，旨在解决真空泵的振动对系统的影响。该单晶炉的真空系统包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，真空泵排气口通过排气支管与排气总管相连，吸气总管与单晶炉的抽吸口相连，真空泵与吸气总管之间设有过滤器，过滤器进口管道与吸气总管相连通，过滤器出口管道与真空泵吸气口相连接，过滤器出口管道为金属软管，过滤器的进口处安装有膨胀节并通过膨胀节与过滤器进口管道相连，真空泵通过弹性地脚支撑在地面上。真空泵通过弹性地脚支撑在地面上，能够吸收一部分振动，在过滤器的进出口分别设置膨胀节及金属软管可以减小振动的传递。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉的真空系统，属于单晶炉

技术介绍
目前，通常使用单晶炉制取单晶硅，单晶硅一般采用如下方法制造将多晶硅装进石英坩埚内，加热熔化，然后，将熔硅略做降温，给予一定的过冷度，把籽晶装入硅籽晶夹持器中，将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接，籽晶固定于夹持器的下端，并且使籽晶与硅熔体接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度，使籽晶体长大。单晶硅在制造过程中需保持一定的真空度，现有的单晶炉的真空系统包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，真空泵排气口通过排气支管与排气总管相连，吸气总管与单晶炉的抽吸口相连，真空泵与吸气总管之间设有过滤器，过滤器进口管道与吸气总管相连通，过滤器出口管道与真空泵吸气口相连接。由于真空泵在运行过程中产生的振动比较大，该振动会沿着管道传递，长期的振动会使管道产生疲劳裂纹，尤其是三通、接口等首先容易损坏，产生泄漏。
技术实现思路
本技术的目的在于，克服现有技术中存在的问题，提供一种单晶炉的真空系统，能够减小真空泵的振动对管道的影响。为解决以上技术问题，本技术所提供的一种单晶炉的真空系统，包括单晶炉、 真本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种单晶炉的真空系统，包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，所述真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，所述真空泵排气口通过排气支管与所述排气总管相连，所述吸气总管与所述单晶炉的抽吸口相连，所述真空泵与所述吸气总管之间设有过滤器，所述过滤器进口管道与所述吸气总管相连通，所述过滤器出口管道与所述真空泵吸气口相连接，其特征在于：所述过滤器出口管道为金属软管，所述过滤器的进口处安装有膨胀节并通过膨胀节与过滤器进口管道相连，所述真空泵通过弹性地脚支撑在地面上。

【技术特征摘要】
1. 一种单晶炉的真空系统，包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，所述真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，所述真空泵排气口通过排气支管与所述排气总管相连， 所述吸气总管与所述单晶炉的抽吸口相连，所述真空泵与所述吸气总管之间设有过...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱仲宝，夏伟，
申请(专利权)人：江苏宝佳太阳能发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32