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本实用新型涉及一种单晶炉的真空系统，属于单晶炉技术领域，旨在解决真空泵的振动对系统的影响。该单晶炉的真空系统包括单晶炉、真空泵、吸气总管及排气总管，真空泵设有真空泵吸气口及真空泵排气口，真空泵排气口通过排气支管与排气总管相连，吸气总管与单晶...
该专利属于江苏宝佳太阳能发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宝佳太阳能发展有限公司授权不得商用。

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