【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉测径仪的安装结构,属于单晶炉
技术介绍
目前,通常使用单晶炉制取单晶硅,单晶炉自下而上的主要部件依次有炉底板、炉体、炉盖、翻板箱、副炉等,各部件内均设有夹套层,夹套中流通有冷却水,炉盖上安装有观察窗及测径仪窗。单晶硅一般采用如下方法制造将多晶硅装进炉体内的石英坩埚内,加热熔化,然后,将熔硅略做降温,给予一定的过冷度,把籽晶装入硅籽晶夹持器中,将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接,籽晶固定于夹持器的下端,并且使籽晶与硅熔体接触, 通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度,使籽晶体长大。现有单晶炉测径仪的安装结构,包括安装在炉盖上的测径仪窗及安装在测径仪窗上的测径仪,测径仪头部通过测径仪窗指向炉体内,用来测定籽晶的直径。测径仪窗上安装有滑轨,滑轨上安装有与滑轨相适配的滑座,滑座上安装有滑座调节螺钉及滑座锁紧螺钉, 滑座上方安装有底板,底板通过底板螺钉固定在滑座上,测径仪固定在底板上,底板及滑座中部均开有大于测径仪观察头直径的透视孔。松开滑座锁紧螺钉,转动滑座调节螺钉可以使滑座沿滑轨上下移动,以调节测径仪的位置,调到合适的位置后,拧紧 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉测径仪的安装结构,包括安装在炉盖上的测径仪窗及安装在测径仪窗上的测径仪,所述测径仪窗上安装有滑轨,所述滑轨上安装有与滑轨相适配的滑座,所述滑座上安装有滑座调节螺钉及滑座锁紧螺钉,所述滑座上方安装有底板,所述底板通过底板螺钉固定在所述滑座上,其特征在于:所述测径仪通过测径仪螺栓固定在测径仪安装板上,所述测径仪安装板通过安装板调节螺钉支撑在所述底板上,所述测径仪安装板、底板及滑座中部均设有大于测径仪观察头直径的透视孔。
【技术特征摘要】
1. 一种单晶炉测径仪的安装结构,包括安装在炉盖上的测径仪窗及安装在测径仪窗上的测径仪,所述测径仪窗上安装有滑轨,所述滑轨上安装有与滑轨相适配的滑座,所述滑座上安装有滑座调节螺钉及滑座锁紧螺钉,所述滑座上方安装有底板...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱仲宝,夏伟,
申请(专利权)人:江苏宝佳太阳能发展有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32
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