一种单晶炉测径仪的安装结构制造技术

技术编号:6939384 阅读:350 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种单晶炉测径仪的安装结构,属于单晶炉技术领域。该单晶炉测径仪的安装结构包括测径仪窗及安装在测径仪窗上的测径仪,测径仪窗上安装有滑轨,滑轨上安装有滑座,滑座上安装有滑座调节螺钉及滑座锁紧螺钉,滑座上方安装有底板,底板通过底板螺钉固定在滑座上,测径仪通过测径仪螺栓固定在测径仪安装板上,测径仪安装板通过安装板调节螺钉支撑在底板上。松开滑座锁紧螺钉,转动滑座调节螺钉可以使滑座沿滑轨上下移动,可以调节测径仪的位置,拧紧滑座锁紧螺钉可以将滑座固定。需要调整测径仪的倾角时,拧动安装板上下两侧的安装板调节螺钉,即可调整安装板相对于底板的角度,使测径仪相对于炉盖的倾角得到调整。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉测径仪的安装结构,属于单晶炉

技术介绍
目前,通常使用单晶炉制取单晶硅,单晶炉自下而上的主要部件依次有炉底板、炉体、炉盖、翻板箱、副炉等,各部件内均设有夹套层,夹套中流通有冷却水,炉盖上安装有观察窗及测径仪窗。单晶硅一般采用如下方法制造将多晶硅装进炉体内的石英坩埚内,加热熔化,然后,将熔硅略做降温,给予一定的过冷度,把籽晶装入硅籽晶夹持器中,将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接,籽晶固定于夹持器的下端,并且使籽晶与硅熔体接触, 通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度,使籽晶体长大。现有单晶炉测径仪的安装结构,包括安装在炉盖上的测径仪窗及安装在测径仪窗上的测径仪,测径仪头部通过测径仪窗指向炉体内,用来测定籽晶的直径。测径仪窗上安装有滑轨,滑轨上安装有与滑轨相适配的滑座,滑座上安装有滑座调节螺钉及滑座锁紧螺钉, 滑座上方安装有底板,底板通过底板螺钉固定在滑座上,测径仪固定在底板上,底板及滑座中部均开有大于测径仪观察头直径的透视孔。松开滑座锁紧螺钉,转动滑座调节螺钉可以使滑座沿滑轨上下移动,以调节测径仪的位置,调到合适的位置后,拧紧滑座锁紧螺钉将滑座固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉测径仪的安装结构,包括安装在炉盖上的测径仪窗及安装在测径仪窗上的测径仪,所述测径仪窗上安装有滑轨,所述滑轨上安装有与滑轨相适配的滑座,所述滑座上安装有滑座调节螺钉及滑座锁紧螺钉,所述滑座上方安装有底板,所述底板通过底板螺钉固定在所述滑座上,其特征在于:所述测径仪通过测径仪螺栓固定在测径仪安装板上,所述测径仪安装板通过安装板调节螺钉支撑在所述底板上,所述测径仪安装板、底板及滑座中部均设有大于测径仪观察头直径的透视孔。

【技术特征摘要】
1. 一种单晶炉测径仪的安装结构,包括安装在炉盖上的测径仪窗及安装在测径仪窗上的测径仪,所述测径仪窗上安装有滑轨,所述滑轨上安装有与滑轨相适配的滑座,所述滑座上安装有滑座调节螺钉及滑座锁紧螺钉,所述滑座上方安装有底板...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱仲宝夏伟
申请(专利权)人:江苏宝佳太阳能发展有限公司
类型:实用新型
国别省市:32

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