【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种单晶炉翻板箱冷却结构。
技术介绍
单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等。单晶硅是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，对单晶硅控制装置及控制工艺的改进将对半导体工业产生深远的影响。现有的单晶硅拉制装置为单晶炉，它是有炉底、下炉室、上炉室、炉盖、翻板箱、副室六大部分组成。现有的单晶炉翻板箱的冷却结构还不够完善，在拉制单晶过程中不能更好的降低翻板箱温度。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种热量能更充分吸收的单晶炉翻板箱冷却结构。实现本专利技术的技术方案如下:一种单晶炉翻板箱冷却结构，包括箱体、用来与副工作室连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门，所述箱体分为内层和外层，内层和外层间设有冷却夹层，箱体外设有与冷却夹层相通的进出水孔座；所述的冷却夹层内从上到下交错布置有若干栅板，相邻的两块栅板中，一块栅板的一端固定在内层上，另一端与外层之间留有间隙，而另一块栅板一端固定在外层上，另一端与内层之间留有间隙。所述箱体外层设有真空口。本专利技术的有益效果是:本专利技术在冷却夹层内设有交错的栅板，增加了水与内壁和外壁的接触面，提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，能更好的保护翻板箱。【附图说明】通过下面结合附图的详细描述，本专利技术前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。其中:图1为本专利技术的结构示意图；附图中，I为箱体，11为内层，12为外层，13为冷却夹层，2为上接口，3为下接口，4为翻板阀门，5为进水孔座,6为出水孔座,7为栅板,8为真空口。【具体实施...
【技术保护点】
单晶炉翻板箱冷却结构，包括箱体、用来与副工作室连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门，其特征在于：所述箱体分为内层和外层，内层和外层间设有冷却夹层，箱体外设有与冷却夹层相通的进出水孔座；所述的冷却夹层内从上到下交错布置有若干栅板，相邻的两块栅板中，一块栅板的一端固定在内层上，另一端与外层之间留有间隙，而另一块栅板一端固定在外层上，另一端与内层之间留有间隙。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：潘燕萍，
申请(专利权)人：常州市天龙光电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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