【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶晶体提升的软轴
本技术涉及单晶生产加工时使用的拖拽工具,尤其是一种用于晶体提升的软轴。
技术介绍
直拉硅单晶时需要借助不锈钢软轴连接在提拉头的卷轮箱内,卷轮箱中的卷轴不断旋转带动不锈钢软轴上升,以此提升单晶晶体。最早使用的软轴制作方式为:首先由19根材质为SUS304的超细钢丝绳同时按顺时针或者同时按逆时针方向初步旋转缠绕为一次成型钢丝绳,再由7根一次成型钢丝绳重复之前相同的旋转缠绕步骤得到二次成型钢丝绳,将这种二次成型钢丝绳作为内芯,在内芯外周包裹一层外皮。这种结构的软轴在经过一段时间的使用后,外皮和内芯容易发生断裂,造成下坠晶体卡棱。甚至有时还会在提拉过程中发生晶体断裂,进而导致石英坩祸破裂,坩祸内部的熔融态硅液出现渗漏,造成极大的经济损失,引发安全事故。 目前,单晶炉提升晶体所用的软轴仍以SUS304材质的钢丝绳为主,与最早使用的软轴的结构的变化在于,去除外皮,利用直径稍大的SUS304细钢丝绳I’取代超细钢丝绳,使得经过两次缠绕之后得到的软轴的最大外径与之前包裹有外皮结构的软轴外径相同,最终得到的软轴横截面如图2所示,此种软轴成功解决了外皮引起的“卡顿”现象,但存在不耐高温、伸长率高、强度低、易疲劳断裂、旋转、单晶计长不准、容易老化断裂、旋转伤人、弹跳损坏籽晶等诸多弊端。目前还有少数软轴使用不旋转、耐高温的钨丝绳代替钢丝绳,但是钨丝绳价格昂贵上,生产成本高,而且一旦钨丝绳发生损坏维修非常困难。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种强度高、易维修的用于单晶晶体提升的软轴,降低了生产成本。 为解决上述技 ...
【技术保护点】
一种用于单晶晶体提升的软轴,其特征在于:包括多根钢丝拉绳,所述钢丝拉绳由七根同向并行旋钮而成的细钢丝绳(1)组成,所述软轴由外向内依次设置有外层(4)、内层(3)和中芯(2),所述中芯(2)为一根钢丝拉绳,所述内层(3)包括为包裹在中芯(2)外周的多根旋向与细钢丝绳(1)旋向相反缠绕而成的钢丝拉绳,所述外层(4)为包裹在内层(3)外周的多根与细钢丝绳(1)旋向相同缠绕而成的钢丝拉绳。
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶晶体提升的软轴,其特征在于:包括多根钢丝拉绳,所述钢丝拉绳由七根同向并行旋钮而成的细钢丝绳(I)组成,所述软轴由外向内依次设置有外层(4)、内层(3)和中芯(2),所述中芯(2)为一根钢丝拉绳,所述内层(3)包括为包裹在中芯(2)外周的多根旋向与细钢丝绳(I)旋向相反缠绕而成的钢丝拉绳,所述外层(4)为包裹在内层(3)外周的多根与细钢丝绳(I)旋向相同缠绕而成的钢丝拉绳。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶晶...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘军波,
申请(专利权)人:宁晋晶兴电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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