一种用于单晶炉的硅料加料装置制造方法及图纸

本申请涉及一种用于单晶炉的硅料加料装置，其包括位移机构、固定机构和转动机构，所述转动机构转动设置在所述位移机构上，使得所述转动机构相对于水平面的倾斜角度可调节；所述固定机构滑移设置在所述转动机构上，所述固定机构固定加料筒，通过所述加料筒将硅料加料至单晶炉内。本申请具有以下效果：将固定机构滑移设置在转动机构上，使得加料筒的尺寸进一步扩大，单次投料量增加，且投料次数减少，提高了加料效率，降低了生产成本。降低了生产成本。降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶炉的硅料加料装置


[0001]本申请涉及单晶硅制作
，尤其是涉及一种用于单晶炉的硅料加料装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是在惰性气体环境中，将多晶硅材料熔化并采用直拉法生长为无错位单晶的单晶硅的加工设备。
[0003]相关技术中，为提高单晶炉的产能，并达到降低生产成本、提高单晶硅棒生产效率的目的，通常采用单炉多次加入硅料、多次拉制单晶硅棒的加工方式，因此单晶炉的副室通常需要被多次升起和旋开，以向副室多次加入硅料。加料时，需先将加料筒倾斜放置，沿加料筒的内壁将硅料添加至加料筒内；然后将石英加料筒翻转至直立状态，并移动至副室的下方,旋开副室后将加料筒提升至副室内，完成硅料复投。

技术实现思路

[0004]为了便于加料，本申请提供一种用于单晶炉的硅料加料装置。
[0005]本申请提供的一种用于单晶炉的硅料加料装置采用如下的技术方案：
[0006]一种用于单晶炉的硅料加料装置，包括位移机构、固定机构和转动机构，所述转动机构转动设置在所述位移机构上，使得所述转动机构相对于水平面的倾斜角度可调节；所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的硅料加料装置，其特征在于：包括位移机构(1)、固定机构(2)和转动机构(4)，所述转动机构(4)转动设置在所述位移机构(1)上，使得所述转动机构(4)相对于水平面的倾斜角度可调节；所述固定机构(2)滑移设置在所述转动机构(4)上，所述固定机构(2)固定加料筒，通过所述加料筒将硅料加料至单晶炉内。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的硅料加料装置，其特征在于：所述转动机构(4)包括固定在所述位移机构(1)上的转轴(411)以及通过所述转轴(411)转动的倾斜直立架(41)，所述固定机构(2)滑移设置在所述倾斜直立架(41)上。3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉的硅料加料装置，其特征在于：所述转动机构(4)还包括固设在所述位移机构(1)上的倾斜驱动件(42)，所述倾斜驱动件(42)驱使所述倾斜直立架(41)转动并对所述倾斜直立架(41)形成支撑。4.根据权利要求3所述的一种用于单晶炉的硅料加料装置，其特征在于：所述固定机构(2)和所述转动机构(4)之间设有升降机构(3)，所述固定机构(2)通过所述升降机构(3)滑移设置在所述转动机构(4)上，所述固定机构(2)的滑移方向与所述固定机构(2)的转轴(411)相垂直。5.根据权利要求4所述的一种用于单晶炉的硅料加料装置，其特征在于：所述升降机构(3)包括与所述转动机构(4)固定连接的导轨(31)、与...

【专利技术属性】
技术研发人员：董永见，闫广宁，李卓越，
申请(专利权)人：宁晋晶兴电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：