下载一种用于单晶炉的硅料加料装置的技术资料

文档序号:33077142

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本申请涉及一种用于单晶炉的硅料加料装置,其包括位移机构、固定机构和转动机构,所述转动机构转动设置在所述位移机构上,使得所述转动机构相对于水平面的倾斜角度可调节;所述固定机构滑移设置在所述转动机构上,所述固定机构固定加料筒,通过所述加料筒将硅...
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