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一种用于单晶炉的硅料加料装置制造方法及图纸
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下载一种用于单晶炉的硅料加料装置的技术资料
文档序号:33077142
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本申请涉及一种用于单晶炉的硅料加料装置,其包括位移机构、固定机构和转动机构,所述转动机构转动设置在所述位移机构上,使得所述转动机构相对于水平面的倾斜角度可调节;所述固定机构滑移设置在所述转动机构上,所述固定机构固定加料筒,通过所述加料筒将硅...
该专利属于宁晋晶兴电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁晋晶兴电子材料有限公司授权不得商用。
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