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蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺制造技术

技术编号:12578393 阅读:98 留言:0更新日期:2015-12-23 17:40
本发明专利技术公开了一种蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺,其中蓝宝石长晶炉热场的钨筒的坩埚被坩埚支架支撑设置,因坩埚支架与钨筒之间设有下隔热钼屏,下隔热钼屏上设有氧化锆纤维板,使热场的温度梯度一致。还包括籽晶夹头组件,该籽晶夹头组件的籽晶杆悬挂在加热笼组件内,并伸入坩埚内,使籽晶的提拉时也能够保持热场的密封性,也保证了温度梯度的一致性。温度梯度良好使晶体的质量高,位错密度小,晶体晶界少、气泡少。而蓝宝石长晶炉,因其设有本发明专利技术的热场,使其能够生产出优质的晶体,因温度梯度一致,使其生产效率高,能够节省企业的成本。因此利用本发明专利技术的长晶工艺,其生产出的晶体质量和品率均提高了,节省了成本,提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
蓝宝石长晶炉热场,包括不锈钢桶,所述不锈钢桶内设有钨筒,所述钨筒内设有加热笼组件,所述加热笼组件内设有坩埚,其特征在于,所述钨筒内的底部设有坩埚支架,所述坩埚安装在所述坩埚支架上,所述坩埚支架与所述钨筒内壁之间设有下隔热钼屏;还包括籽晶夹头组件,所述籽晶夹头组件包括籽晶杆,所述籽晶杆悬挂在所述加热笼组件内,且所述籽晶杆伸入所述坩埚内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱剑啸吉爱华曲海峰侯乃生吉慕璇吉磊张志伟董俊杰
申请(专利权)人:吉爱华
类型:发明
国别省市:山东;37

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