一种单晶炉制造技术

技术编号:6934460 阅读:216 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种单晶炉,该单晶炉的石墨及石英坩埚位于加热器内,保温筒位于加热器外,导流筒位于石墨及石英坩埚之上,重锤悬挂在导流筒上,其特征在于在重锤上设有挂钩,在导流筒的上沿设有活络节,活络节上连接有半圆环,且半圆环悬挂在挂钩内。采用本实用新型专利技术,因导流筒通过挂钩悬挂在重锤上,使导流筒处于吊起状态,抬高了导流筒的底部与石墨及石英坩埚之间的距离,因此能增加在石墨及石英坩埚中的投料量,并相对减少了加料过程中的能量损耗,且半圆环能自然脱出,操作方便。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉
技术介绍
目前,我们通常使用的单晶炉,在石墨及石英坩埚大小设定不变的情况下,因导流筒位于石墨及石英坩埚之上,且采用边缘悬挂在保温筒上的方式,其位置始终不动,底部与石墨及石英坩埚较接近,因此,在石墨及石英坩埚中加入的硅料量受到限制,既影响了产量,又因经常加料而损耗了能量。
技术实现思路
本技术的目的是提供能增加单炉投料量的一种单晶炉。本技术采取的技术方案是一种单晶炉,包括炉体、保温筒、石墨及石英坩埚、 重锤、导流筒和加热器;石墨及石英坩埚位于加热器内,保温筒位于加热器外,导流筒位于石墨及石英坩埚之上,重锤悬挂在导流筒上,其特征在于在重锤上设有挂钩,在导流筒的上沿设有活络节,活络节土连接有半圆环,且半圆环悬挂在挂钩内。采用本技术,因导流筒通过挂钩悬挂在重锤上,使导流筒处于吊起状态,抬高了导流筒的底部与石墨及石英坩埚之间的距离,因此能增加在石墨及石英坩埚中的投料量,并相对减少了加料过程中的能量损耗,且半圆环能自然脱出,操作方便。附图说明图1是本技术的主视示意图。图2是本技术半圆环连接在导流筒上左视示意图。图3是本技术的半圆环自然落向下的示意图。图中的序号表示重锤1、挂钩2、半圆环3、活络节4、导流筒5、炉体6保温筒7、石墨及石英坩埚8和加热器9。具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术作进一步说明。参照图1、图2和图3,该单晶炉包括炉体6、保温筒7、石墨及石英坩埚8、重锤1、 导流筒5和加热器9 ;石墨及石英坩埚8位于加热器9内,保温筒7位于加热器9外,导流筒5位于石墨及石英坩埚8之上;重锤1悬挂在导流筒5上,在重锤1上设有二个对称的挂钩2,在导流筒5的上沿设有对称的活络节4,活络节4上连接有二个半圆环3,半圆环3能绕活络节4转动,且半圆环3悬挂在挂钩2内。使用时,先将重锤1拉高,使导流筒5高高吊起,把石墨及石英坩埚8中的硅料尽量加满加高至与导流筒5的底部接近,直到不能再加为止;在开炉后,当石墨及石英坩埚7 中的硅料逐渐变成液态,溶化到合适的位置后,降下重锤1和导流筒5,当导流筒5的边缘悬挂在保温筒7上后,悬挂在重锤1的挂钩2内的半圆环3会从挂钩2上脱出,绕活络节4转动并自然落向两边,这样,就实现了增加单炉投料量的目的,同时,也可以减少在加料过程产生的能量损耗,操作很方便。权利要求1. 一种单晶炉,包括炉体、保温筒、石墨及石英坩埚、重锤、导流筒和加热器;石墨及石英坩埚位于加热器内,保温筒位于加热器外,导流筒位于石墨及石英坩埚之上,重锤悬挂在导流筒上,其特征在于在重锤上设有挂钩,在导流筒的上沿设有活络节,活络节上连接有半圆环,且半圆环悬挂在挂钩内。专利摘要本技术涉及一种单晶炉,该单晶炉的石墨及石英坩埚位于加热器内,保温筒位于加热器外,导流筒位于石墨及石英坩埚之上,重锤悬挂在导流筒上,其特征在于在重锤上设有挂钩,在导流筒的上沿设有活络节,活络节上连接有半圆环,且半圆环悬挂在挂钩内。采用本技术,因导流筒通过挂钩悬挂在重锤上,使导流筒处于吊起状态,抬高了导流筒的底部与石墨及石英坩埚之间的距离,因此能增加在石墨及石英坩埚中的投料量,并相对减少了加料过程中的能量损耗,且半圆环能自然脱出,操作方便。文档编号C30B35/00GK202072805SQ20112009668公开日2011年12月14日 申请日期2011年3月29日 优先权日2011年3月29日专利技术者蔡齐茂 申请人:浙江晨方光电科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉,包括炉体、保温筒、石墨及石英坩埚、重锤、导流筒和加热器;石墨及石英坩埚位于加热器内,保温筒位于加热器外,导流筒位于石墨及石英坩埚之上,重锤悬挂在导流筒上,其特征在于在重锤上设有挂钩,在导流筒的上沿设有活络节,活络节上连接有半圆环,且半圆环悬挂在挂钩内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡齐茂
申请(专利权)人:浙江晨方光电科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:33

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