下载直拉式单晶炉的可调托晶盘装置的技术资料

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一种直拉式单晶炉的可调托晶盘装置,它包副室、副室下法兰、托晶盘,托晶盘与摇臂连接,导向套焊接在副室下法兰侧面,导向套筋板与副室下法兰上平面、导向套焊接,导向套内安装弹簧,导向座安装在导向套上端,带外螺纹的连接销轴从下向上穿过摇臂定位孔、导向...
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