一种超声波单晶硅片清洗槽制造技术

本实用新型专利技术提供一种超声波单晶硅片清洗槽，包括丝杆、螺母块、电机、电动伸缩杆、超声波振子、升降板、连接管、真空吸盘以及真空泵，支撑板左端面上侧装配有电机，电机右端面安装有丝杆，丝杆环形侧面安装有螺母块，螺母块下端面装配有电动伸缩杆，电动伸缩杆下端面固定有升降板，升降板上端面中间位置装配有真空泵，真空泵左端面安装有连接管，升降板下端面安装有真空吸盘，真空泵通过连接管与真空吸盘相连接，超声波振子安装在清洗斗内壁，该设计解决了原有单晶硅片不方便超声波清洗的问题，本实用新型专利技术结构合理，方便单晶硅片送料清洗，清洗效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波单晶硅片清洗槽
本技术是一种超声波单晶硅片清洗槽，属于单晶硅片

技术介绍
单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。现有的单晶硅片不方便超声波清洗，单晶硅片在进行超声波清洗时，大多采用人工送料的方式，将单晶硅片浸入至清洗槽中持续一段时间，清洗不够便捷，清洗效率低下，现在急需一种超声波单晶硅片清洗槽来解决上述出现的问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种超声波单晶硅片清洗槽，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术结构合理，方便单晶硅片送料清洗，清洗效率高。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种超声波单晶硅片清洗槽，包括顶板、便捷清洗机构、支撑板、放置台、底板以及清洗斗，所述支撑板对称安装在底板上端面左右两侧，所述顶板安装在支撑板上端面，所述放置台固定在底板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超声波单晶硅片清洗槽，包括顶板、便捷清洗机构、支撑板、放置台、底板以及清洗斗，其特征在于：所述支撑板对称安装在底板上端面左右两侧，所述顶板安装在支撑板上端面，所述放置台固定在底板上端面左侧，所述清洗斗安装在放置台右侧，所述便捷清洗机构设置在顶板下侧；/n所述便捷清洗机构包括丝杆、螺母块、电机、电动伸缩杆、超声波振子、升降板、连接管、真空吸盘以及真空泵，所述支撑板左端面上侧装配有电机，所述电机右端面安装有丝杆，所述丝杆环形侧面安装有螺母块，所述螺母块下端面装配有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆下端面固定有升降板，所述升降板上端面中间位置装配有真空泵，所述真空泵左端面安装有连接管，所述升降板下端...

【技术特征摘要】
1.一种超声波单晶硅片清洗槽，包括顶板、便捷清洗机构、支撑板、放置台、底板以及清洗斗，其特征在于：所述支撑板对称安装在底板上端面左右两侧，所述顶板安装在支撑板上端面，所述放置台固定在底板上端面左侧，所述清洗斗安装在放置台右侧，所述便捷清洗机构设置在顶板下侧；
所述便捷清洗机构包括丝杆、螺母块、电机、电动伸缩杆、超声波振子、升降板、连接管、真空吸盘以及真空泵，所述支撑板左端面上侧装配有电机，所述电机右端面安装有丝杆，所述丝杆环形侧面安装有螺母块，所述螺母块下端面装配有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆下端面固定有升降板，所述升降板上端面中间位置装配有真空泵，所述真空泵左端面安装有连接管，所述升降板下端面安装有真空吸盘，所述真空泵通过连接管与真空吸盘相连接，所述超声波振子安装在清洗斗内壁。


2.根据权利要求1所述的一种超声波单晶硅片清洗槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱汪龙，朱玲，
申请(专利权)人：无锡乐东微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32