温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种超声波单晶硅片清洗槽，包括丝杆、螺母块、电机、电动伸缩杆、超声波振子、升降板、连接管、真空吸盘以及真空泵，支撑板左端面上侧装配有电机，电机右端面安装有丝杆，丝杆环形侧面安装有螺母块，螺母块下端面装配有电动伸缩杆，电动伸缩杆...
该专利属于无锡乐东微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡乐东微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。