传送盒制造技术

一种可利用自动化传送系统(AMHS)来搬运的传送盒，由配置于传送盒上的头顶式升降搬运系统，以机械化运输光罩盒，可大幅降低人力搬运所造成光罩损坏风险，并减少人力的浪费，进而减少制备工艺所需的时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种传送盒，特别是以运用自动化传输运送系统的架构，来运送装载复数个光罩盒的传送盒。
技术介绍
近代半导体科技发展迅速,其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(Photo mask)。利用曝光原理，贝1J光源通过光罩投影至娃圆片(silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的圆片制备工艺中，都提供无尘室(cleanroom)的环境以避免空气中的颗粒污染。·在半导体的制备工艺中，由于圆片尺寸已达到12时或以上，圆片厂对于自动化的要求相当高，通过计算机整合制造系统，将使得圆片厂能拥有100%圆片片传输自动化，由自动化传输运送管理，可以使得人为操作失误大为降低、提高产品良率并进行有效的工厂管理。图9即为已经使用在半导体场中的光罩盒的不意图,光罩盒包括一底座a,—相对于底座a的上盖b,及一位于底座a的支撑件c ;由支撑件c支撑光罩d,并由底座a与上盖b将光罩d盖合于其中。—般在搬运光罩时，是将光罩置于光罩盒中，而光罩盒为具有气密状态的盒体，因此，当光罩被放置于光罩盒中时。可避免光罩受到尘埃颗粒的污染。通常搬运光罩盒主要以人力搬运，例如将多个光罩盒放在推车上，以推车将将光罩盒搬运至下一阶段的制备工艺，但因现在制备工艺中，光罩其体积趋于越来越大，相对地，重量亦越重，在以人力搬运的过程中，难免可能发生掉落的风险，以致于造成成本上的严重损失。此外，当圆片尺寸已达到12时或以上时，整个圆片制造厂可能都采用自动化设备来进行生产，因此，搬运光罩盒的方式有必须配合自动化；例如，以机器手臂抓取来搬运光罩盒是最为安全且迅速的方式。基于上述的各种因素，为避免掉落的意外，及配合未来圆片厂自动化传输运送管理的需求，需要提供具有安全又快速运输多个光罩盒的传送盒。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种传送盒，以解决上述需要。为实现上述目的，本专利技术提供的前开式传送盒，可放置复数个容置盒，该前开式传送盒包括一与后侧面连接成一体的左侧面、右侧面、上侧面及下侧面所组成，而相对于该后侧面另一侧为一开口；一门体，与该前开式传送盒的该开口大小相符，用以封闭该前开式传送盒的该开口，该前开式传送盒的特征在于一对支撑架，相对地配置在该前开式传送盒的该左侧面内侧及该右侧面内侧上；复数对滑轨槽，平行相对的形成于该对支撑架上，且由该开口往该前开式传送盒的该后侧面延伸；复数个放置板，每一该放 置板平行配置于每一该对滑轨槽上；其中，该放置板包括一上表面，该上表面的后端具有一挡边，且与该挡边连接的左右两侧上，具有一对与该对滑轨槽相对的连接机构，经由该连接机构与该对滑轨槽接合。所述的传送盒，其中，每一该滑轨槽的位于该前开式传送盒的该开口的一端上配置有第一滚轮。所述的传送盒，其中，该对连接机构具有一对相对于该对第一滚轮的凹槽。本专利技术还提供一种前开式传送盒，可放置复数个容置盒，该前开式传送盒包括一与后侧面连接成一体的左侧面、右侧面、上侧面及下侧面所组成，而相对于该后侧面另一侧为一开口 ；一门体，与该前开式传送盒的该开口大小相符，用以封闭该前开式传送盒的该开口，该前开式传送盒的特征在于复数对支撑肋，平行相对的形成于该前开式传送盒的该左侧面内侧及该右侧面内侧上，且由该开口往该前开式传送盒的该后侧面延伸；复数个放置板，每一该放置板平行配置于每一该对支撑肋上； 其中，该放置板包括一上表面，该上表面的后端具有一挡边，且与该挡边连接的左右两侧上，具有一对与该对支撑肋相对的连接机构，经由该连接机构与该对支撑肋接合；多个扣件，配置在每一该放置板的该上表面且位于该开口处。所述的传送盒，其中，每一该扣件的一端与一固定柱枢接，并由该固定柱将该扣件固定于每一该放置板上，使得每一该扣件可以向该开口外及该开口内活动。所述的传送盒，其中，在该放置板的该连接机构的后端附近设置一缺口，并在该缺口处进一步配置一第二滚轮。所述的传送盒，其中，每一该滑轨槽上配置一止动组件。所述的传送盒，其中，该放置板的上表面配置一夹扣装置。所述的传送盒，其中，该放置板的该上表面配置一防呆结构。所述的传送盒，其中，该放置板配置一重心结构。所述的传送盒，其中，该下侧面上配置复数个定位槽。所述的传送盒，其中，该前开式传送盒在与该后侧面连接的该左侧面及该右侧面上为一镂空结构。本专利技术利用配置于传送盒上部，与圆片传送盒相同结构的头顶式升降搬运系统(OHT)，配合自动化传输运送系统，以机械化运输传送盒。本专利技术还利用传送盒同时运送复数个光罩盒，配合自动化传输运送系统，以机械化运输传送盒，避免人力搬运所造成可能掉落的风险，避免成本的损失。附图说明图I为本专利技术的前开式传送盒示意图；图2A为本专利技术的放置板示意图；图2B为本专利技术的放置板侧视图；图3为本专利技术的光罩盒放置于前开式传送盒的示意4A为本专利技术的前开式传送盒上侧面示意图；图4B为本专利技术的前开式传送盒下侧面示意图；图5为本专利技术另一实施例的前开式传送盒示意图； 图6为本专利技术的放置板的重心结构示意图；图7为本专利技术的光罩盒下视图；图8为本专利技术再一实施例的前开式传送盒示意图；图9为公知的光罩盒示意图。附图中主要组件符号说明a底座(公知技术)；b上盖(公知技术)；c支撑件(公知技术)；d光罩(公知技术)；I光罩盒；3底板；5防呆凹槽；10前开式传送盒；101相对孔；12开口 ； 13左侧面；14右侧面；15后侧面；16上侧面；18下侧面；20门体；22门锁装置；221门闩；30支撑架；301滑轨槽；31卡笋；32第一滚轮；36止动组件；40放置板；401上表面；4011挡边；4013防呆结构；42连接机构；421凹槽；422缺口 ；44第二滚轮；46重心结构；48支撑肋；500HT头；501凸出边缘；60定位槽；70夹扣装置；71座体；73夹扣件；731凸出部；75枢轴；751弹性件；80镂空结构；90扣件；92固定柱。具体实施例方式本专利技术提供的一种前开式传送盒，包括一左侧面，一右侧面，一上侧面，一下侧面，一后侧面，及一开口 ；一门体，与前开式传送盒的开口大小相符；一头顶式升降搬运系统，配置在在前开式传送盒的上侧面上；一对支撑架，相对地配置在前开式传送盒的左侧面及右侧面上；复数对滑轨槽，平行相对的形成于对支撑架上，且由开口往后侧面延伸；复数对第一滚轮，配置在位于开口一端的每一滑轨槽上；复数个放置板，每一放置板系平行配置于每一对滑轨槽上；其中，放置板的特征在于放置板具有一上表面，上表面的边缘上具有复数个挡边，在放置板的左右两侧，具有一对与对滑轨槽相对的连接机构，且对连接机构具有一对相对于对第一滚轮的凹槽。经由本专利技术所提供的设计，可载运多个光罩盒，并可大幅降低人力搬运所造成的损坏风险，减少人力的浪费，进而减少制备工艺所需的时间。以下结合附图对本专利技术作详细描述。由于本专利技术是揭示一种使用在半导体厂中的前开式传送盒，特别是传送多个光罩盒的传送盒；其中所利用到的一些关于前开式传送盒定位及OHT头，是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种前开式传送盒，可放置复数个容置盒，该前开式传送盒包括一与后侧面连接成一体的左侧面、右侧面、上侧面及下侧面所组成，而相对于该后侧面另一侧为一开口；一门体，与该前开式传送盒的该开口大小相符，用以封闭该前开式传送盒的该开口，该前开式传送盒的特征在于：一对支撑架，相对地配置在该前开式传送盒的该左侧面内侧及该右侧面内侧上；复数对滑轨槽，平行相对的形成于该对支撑架上，且由该开口往该前开式传送盒的该后侧面延伸；复数个放置板，每一该放置板平行配置于每一该对滑轨槽上；其中，该放置板包括：一上表面，该上表面的后端具有一挡边，且与该挡边连接的左右两侧上，具有一对与该对滑轨槽相对的连接机构，经由该连接机构与该对滑轨槽接合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：古震维，吕保仪，廖坤鸿，盛剑平，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：