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一种可利用自动化传送系统(AMHS)来搬运的传送盒，由配置于传送盒上的头顶式升降搬运系统，以机械化运输光罩盒，可大幅降低人力搬运所造成光罩损坏风险，并减少人力的浪费，进而减少制备工艺所需的时间。...
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