晶片传送装置以及具有其的位置感应系统和可视检查系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及了一种晶片传送装置，其用于在检查晶片期间稳定传送晶片，从而改善总厚度变化检测的可靠性，以及一种具有其的位置感应系统和可视检查系统。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种晶片传送装置以及具有其的位置感应系统和可视检查系统，更具体地，涉及一种能够在检查晶片期间稳定地传送晶片以改善总厚度变化测量的可靠性的晶片传送装置，以及具有其的位置感应系统和可视检查系统。
技术介绍
太阳能电池是一种使用半导体特性将太阳能转换成电能的器件。太阳能电池配置成具有PN结结构，其中结合了正⑵型半导体和负(N)型半导体。当太阳光入射到太阳能电池上时，通过入射的太阳光能在半导体中产生空穴和电子。此时，通过在PN结处产生的电场，空穴(+)被移动到P型半导体侧，而电子(_)被移动到N型半导体侧，结果产生了电势从而产生电功率。太阳能电池可分类为薄膜型太阳能电池或者晶片型太阳能电池。薄膜型太阳能电池是通过在诸如玻璃的基板上形成薄膜半导体而制造。晶片型太阳能电池是通过使用诸如硅的半导体材料作为晶片而制造。薄膜型太阳能电池或者晶片型太阳能电池是通过在玻璃、透明塑料或者硅晶片 (以下将‘玻璃、透明塑料或者硅晶片’统一称作“晶片”)上形成用于PN结的半导体层并形成电连接到半导体层的正(+)电极和负(_)电极而制造。而且，在晶片型太阳能电池中，还执行在其太阳光入射平面上形成抗反本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种晶片传送装置，包括：传送带，用于在晶片放在传送带上的状态下传送晶片；一对驱动传送带的带轮；和抽吸组块，设在传送带内部空间中，用于将吸力施加到传送带内表面。

【技术特征摘要】
2010.05.25 KR 10-2010-00483601.一种晶片传送装置，包括传送带，用于在晶片放在传送带上的状态下传送晶片；一对驱动传送带的带轮；和抽吸组块，设在传送带内部空间中，用于将吸力施加到传送带内表面。2.如权利要求1所述的晶片传送装置，其中传送带水平设置，且抽吸组块将吸力施加到传送带内表面的上部。3.如权利要求1所述的晶片传送装置，其中传送带包括第一传送带和第二传送带，且抽吸组块包括分别设在第一传送带内部空间中和第二传送带内部空间中的第一抽吸组块和第二抽吸组块。4.如权利要求3所述的晶片传送装置，其中第一传送带和第二传送带通过相同驱动电机驱动。5.如权利要求4所述的晶片传送装置，还包括驱动轴，用于同时驱动第一传送带和第二传送带的带轮。6.如权利要求3所述的晶片传送装置，其中第一传送带和第二传送带之间的距离小于在垂直于晶片传送方向的方向上的晶片宽度。7.如权利要求1所述的晶片传送装置，其中抽吸组块配置成长杆形式且在传送带的长度方向上设置在传送带的内部空间中。8.如权利要求7所述的晶片传送装置，其中抽吸组块具有大于传送带宽度的上部宽度。9.如权利要求1所述的晶片传送装置，其中抽吸组块具有等于或者大于在晶片传送方向上的晶片宽度两倍的长度。10.如权利要求1所述的晶片传送装置，其中抽吸组块在其上表面的预定区域设有多个以预定间隔设置的抽吸孔。11.如权利要求10所述的晶片传送装置，其中设在抽吸组块上表面的至少一个抽吸孔配置成截面为椭圆或者长孔形式。12.如权利要求11所述的晶片传送装置，其中配置成截面为椭圆或者长孔形式的至少一个抽吸孔设在垂直于传送带长度方向的方向上。13.如权利要求10所述的晶片传送装置，其中预定区域具有等于或者大于在晶片传送方向上的晶片宽度两倍的长度。14.如权利要求10所述的晶片传送装置，还包括限定在抽吸组块中的至少一个主要流道、至少一个抽吸口以及多个支路流道，通过至少一个抽吸口将吸力施加到至少一个主要流道，以及通过多个支路流道使至少一个主要流道与抽吸孔连通。15.如权利要求14所述的晶片传送装置，其中，在支路流道与至少一个主要流道连通的状态下，该至少一个主要流道设置在水平方向上，而该支路流道设置在垂直方向上。16.根据权利要求14的晶片传送装置，其中支路流道的数目等于抽吸孔的数目。17.如权利要求14的晶片传送装置，其中至少一个主要流道包括多个主要流道...

【专利技术属性】
技术研发人员：李暻植，金昌显，林裁瑛，
申请(专利权)人：韩美半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：KR