【技术实现步骤摘要】
【】本专利技术专利申请主张2023年06月12日提出申请的编号为63/472,429名称是”theadjustment mechanism of the central beam in the substrate carrier and theinspection device thereof”的美国专利临时申请案的国际优先权，前述案件的内容通过引用并入本文，并且成为说明书的一部分。本专利技术涉及一种支撑结构及检测设备与检测设备的校正治具，尤其涉及一种可微调偏移量进行校正的支撑结构及检测设备与检测设备的校正治具。
技术介绍
0、
技术介绍
1、在现有半导体产业中，有关晶圆、光罩或基板等相关半导体组件的存放与运送扮演了重要的角色。随着半导体基板的尺寸逐渐增加，在储存或运输过程中更需要有良好的支撑机制，避免碰撞损坏的状况。
2、现有基板载具中使用一种中央支撑件机构来支撑半导体基板，然而中央支撑件常因组装方式，导致中央支撑件出现组装误差，进而发生中央支撑件发生偏移或歪斜的现象。再者，在运送半导体基板的过程中容易发生震动，在经过一段时间的反复使用后，容易在承载半导体基板时出现中央支撑件发生偏移或倾斜，导致中央支撑件与基板发生碰撞，致使基板出现损坏。目前并没有很好的机制来防止中央支撑件发生位移或偏斜，也没有办法很好地得知中央支撑件的偏移量。
3、因此，如何能检测中央支撑件的偏移量并防止中央支撑件发生偏移，为目前业界亟欲解决的问题。
技术实现思路
0、【专
1、本专利技术提供一种支撑结构及检测设备与检测设备的校正治具，利用平行键将支撑件连接至龙骨上，除了可以固定支撑件，避免支撑件发生倾斜偏移的问题外，更可以对支撑件进行偏移量的微调。另外，在实际承载基板前，支撑结构可以先以检测设备进行检测，判断其偏移范围是否合乎标准。另一方面，检测设备亦可利用校正治具进行标准化校正，确认检测设备的规格、尺寸正确。
2、本专利技术的支撑结构，适用于基板载具，其特征在于，包括：龙骨，纵向设置于所述基板载具内，并且等间隔地设有支持部，相邻的所述支持部间界定有容置槽，所述容置槽用于容置支撑件，所述支持部设有第一限位部，所述支撑件上对应所述第一限位部处设有第二限位部；以及，平行键，设置于所述第一限位部与所述第二限位部间，并用于限制所述支持部与所述支撑件在所述容置槽中的相对位移。
3、本专利技术的检测设备，用于检测前述的支撑结构，适用于基板载具，其特征在于，包括：载台，用于承置所述基板载具；活动门板，可移动地设置于所述载台上，用于移动靠近或移动远离所述基板载具；以及，检测装置，设置于所述活动门板上，所述检测装置包括检测面与检测区域，所述检测面用于抵接所述支撑件，所述检测区域依据所述活动门板推移靠近所述基板载具的移动程度，用于检测所述支撑件的不同程度的偏移量。
4、本专利技术的校正治具，适用于校正前述的检测设备，其特征在于，包括：底座，用于承置于所述载台上；以及，立柱，纵向设置于所述底座上，所述立柱包括有等间隔设置的校正件，用于抵接所述检测装置的所述检测面，所述校正件具有与前述支撑件相同的结构，其中所述支撑件藉由容置于所述容置槽内而为等间隔设置；其中，所述检测装置的所述检测区域依据所述活动门板推移靠近所述校正治具的移动程度，用于检测所述检测面是否为符合所述校正件的校正条件。
5、本专利技术的具有以下有益的效果：
6、利用平行键来限制支撑件在容置槽中的相对位移，在一些实施例中紧迫件及调整块可以用来固定支撑件，并微调支撑件的偏移量，解决支撑件发生倾斜偏移的问题，另外支撑结构可以在实际用于支撑基板前，先以检测设备进行检测，判断其偏移范围是否合乎标准，当检测出支撑件偏移时，可以微调支撑件的偏移量达到校正的功能，再者，检测设备亦可于进行检测前，利用校正治具进行标准化校正，确认检测设备的规格、尺寸正确。
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1.一种支撑结构，适用于基板载具，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的支撑结构，其特征在于：所述第一限位部与所述第二限位部相互匹配并构成键槽，所述平行键的结构与所述键槽相配合，所述平行键设置于所述键槽中。
3.如权利要求1所述的支撑结构，其特征在于，包括：紧迫件，设置于所述容置槽与所述支撑件间，所述紧迫件用于调整所述支撑件位于所述容置槽中的第一位移量。
4.如权利要求3所述的支撑结构，其特征在于：所述紧迫件包括楔形本体及凸缘，所述楔形本体具有夹持接面，所述夹持接面用于夹持于所述支撑件的斜面，所述凸缘位于所述夹持接面的边缘，所述紧迫件经由所述夹持接面及所述凸缘固定所述支撑件。
5.如权利要求4所述的支撑结构，其特征在于：所述夹持接面与所述凸缘的连接处具有导角，配合所述支撑件的边角的轮廓，从而使所述紧迫件紧密接合于所述支撑件。
6.如权利要求3所述的支撑结构，其特征在于，包括：第一锁固组件，穿过所述龙骨并锁接于所述紧迫件，依据所述第一锁固组件的锁附程度于所述龙骨的第一水平方向调整所述紧迫件的所述第一位移量。
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