一种防止硅片滑动的金属承载盒制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种防止硅片滑动的金属承载盒。本实用新型专利技术一种防止硅片滑动的金属承载盒，通过在传统金属承载盒的硅片入口的底部设置一个金属条，使得金属承载盒放置时呈倾斜状，放置于其中的硅片在烘烤时不易滑落，从而易降低了硅片由于滑落造成损坏的几率，增大产品的良率及降低生产成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及一种防止硅片滑动的金属承载盒。
技术介绍
随着集成电路的集成度不断提高，半导体技术也持续的飞速发展。在半导体工艺中，用金属承载盒承载硅片进行长时间烘烤是关键的工艺步骤。图I是本技术
技术介绍
中传统金属承载盒的侧视图，图2是本技术
技术介绍
中传统金属承载盒的正视图；如图I和2所示，传统金属承载盒I的底部11和放置硅 片的插槽12均是水平的，由于烤箱内部的环境以及实验室的架子及放置金属承载盒I的桌面都不一定是水平的，特别是烤箱内部放置金属承载盒I的格档，由于使用金属条进行焊接，而有些金属条甚至有突起的状况，易导致金属承载盒I放置不平，若金属承载盒的后部高出硅片入口，使得放置于该金属承载盒中的硅片滑出，且烤箱内部在运行的过程中会有一定振动的，进一步会增大硅片在长时间烘烤和振动环境中滑出的几率，从而易造成硅片的损坏，降低产品的良率及增大生产成本。
技术实现思路
本技术公开了一种防止硅片滑动的金属承载盒，其中，于金属承载盒硅片入口的底部设置一增高装置，使得所述金属承载盒的底部与水平面之间形成一角度e。上述的防止硅片滑动的金属承载盒，其中，所述角度0的范围为0-45°。上述的防止硅片滑动的金属承载盒，其中，所述增高装置为一金属条。上述的防止硅片滑动的金属承载盒，其中，所述金属条的材质为耐高温材料。上述的防止硅片滑动的金属承载盒，其中，所述增高装置固定设置在所述金属承载盒硅片入口的底部。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术提出一种防止硅片滑动的金属承载盒，通过在传统金属承载盒的硅片入口的底部设置一个金属条，使得金属承载盒放置时呈倾斜状，放置于其中的硅片在烘烤时不易滑落，从而易降低了硅片由于滑落造成损坏的几率,增大产品的良率及降低生产成本。附图说明图I是本技术
技术介绍
中传统金属承载盒的侧视图；图2是本技术
技术介绍
中传统金属承载盒的正视图；图3是本技术一种防止硅片滑动的金属承载盒的侧视图；图4是本技术一种防止硅片滑动的金属承载盒的正视图。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明图3是本技术一种防止硅片滑动的金属承载盒的侧视图；图4是本技术一种防止硅片滑动的金属承载盒的正视图。如图3-4所示，本技术一种防止硅片滑动的金属承载盒，在金属承载盒2的硅片入口 21的底部上焊接一金属条23，使得金属承载盒2的底部22与水平面成一角度9，这样就使得金属承载盒2的硅片入口 21较高，当放置硅片于金属承载盒2中闲置在桌面或将该金属承载盒2放入烤箱中进行长时 间烘烤时，都能较好的防止放置其中的硅片滑落，从而不仅节约了生产成本，还保证了测试项目的顺利进行。进一步的，金属承载盒2的底部22与水平面成一角度0的范围为0-45°。其中，金属条23的材质为耐高温材料。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术提出一种防止硅片滑动的金属承载盒，通过在传统金属承载盒的硅片入口的底部设置一个金属条，使得金属承载盒放置时呈倾斜状，放置于其中的硅片在烘烤时不易滑落，从而易降低了硅片由于滑落造成损坏的几率,增大产品的良率及降低生产成本。通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本技术精神，还可作其他的转换。尽管上述技术提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本技术的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本技术的意图和范围内。权利要求1.一种防止硅片滑动的金属承载盒，其特征在于，于金属承载盒硅片入口的底部设置一增高装置，使得所述金属承载盒的底部与水平面之间形成一角度e。2.根据权利要求I所述的防止硅片滑动的金属承载盒，其特征在于，所述角度0的范围为0-45。。3.根据权利要求I所述的防止硅片滑动的金属承载盒，其特征在于，所述增高装置为一金属条。4.根据权利要求3所述的防止硅片滑动的金属承载盒，其特征在于，所述金属条的材质为耐高温材料。5.根据权利要求1-4中任意一项所述的防止硅片滑动的金属承载盒，其特征在于，所述增高装置固定设置在所述金属承载盒硅片入口的底部。专利摘要本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种防止硅片滑动的金属承载盒。本技术一种防止硅片滑动的金属承载盒，通过在传统金属承载盒的硅片入口的底部设置一个金属条，使得金属承载盒放置时呈倾斜状，放置于其中的硅片在烘烤时不易滑落，从而易降低了硅片由于滑落造成损坏的几率，增大产品的良率及降低生产成本。文档编号H01L21/673GK202513130SQ20122009226公开日2012年10月31日 申请日期2012年3月13日 优先权日2012年3月13日专利技术者尹彬锋, 王炯 申请人:上海华力微电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防止硅片滑动的金属承载盒，其特征在于，于金属承载盒硅片入口的底部设置一增高装置，使得所述金属承载盒的底部与水平面之间形成一角度θ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王炯，尹彬锋，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：