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本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种防止硅片滑动的金属承载盒。本实用新型一种防止硅片滑动的金属承载盒，通过在传统金属承载盒的硅片入口的底部设置一个金属条，使得金属承载盒放置时呈倾斜状，放置于其中的硅片在烘烤时不易滑落，从而易降低了硅片...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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