一种干式刻蚀机的晶片托盘制造技术

一种干式刻蚀机的晶片托盘，属于刻蚀机技术领域，包括第二滑轨、控制器、支杆、第二滑块、第三气缸、夹槽、第一滑轨、第一气缸、第二气缸、第一滑块、第一夹板、氦气供给管、卡槽、底台、第一抵板、第二抵板、第二夹板和第四气缸，所述底台上安装卡槽，底台和卡槽上均安装氦气供给管，卡槽左右两侧各安装夹槽，夹槽内安装第一滑轨，第一滑轨上安装第一滑块，第一滑块右侧安装第一夹板，第二气缸安装在卡槽内，第二气缸的活塞杆与第一夹板相连，卡槽内安装第一气缸，第一夹板设有第一小洞；本实用新型专利技术的优点是：能使气体顺利流动。

Wafer tray for dry etching machine

The wafer tray a dry etching machine, which belongs to the field of etching machine technology, including second slides, controller, a supporting rod, second block, third cylinder and the clamping groove, the first slide, the first cylinder, second cylinder, a first slider, the first splint, helium supply pipe, slot and the bottom table, first board, arrived in second plate, second plates and fourth cylinders, the installing groove bottom, bottom and slots are installed on the helium supply pipe, the slot each side mounting groove, the first clamping rail groove, the first slider installed the first slide, the first slider installed on the right side of the first plate, second cylinder installed on the card slot, second cylinder piston rod connected with the first plate, the first card cylinder mounting groove, the first plate is provided with a first hole; the utility model has the advantages that can make the gas well flow.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种干式刻蚀机的晶片托盘，属于刻蚀机

技术介绍
托盘是使用在干式刻蚀设备中用来放置蓝宝石晶片，设备内部供给特殊气体形成等离子，并按固定的规则、模样来刻蚀放在托盘上的蓝宝石晶片，现有技术的托盘上放置蓝宝石晶片后用夹紧器将晶片固定住，避免刻蚀过程中蓝宝石晶片的挪动，夹紧器严重妨碍了气体流动，造成产品刻蚀品质下降。为了解决上述困难，需要开发一款能使气体顺利流动的干式刻蚀机的晶片托盘。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种干式刻蚀机的晶片托盘。本技术要解决的问题是现有技术的托盘严重妨碍了气体流动的问题。为实现本技术的目的，本技术采用的技术方案是：一种干式刻蚀机的晶片托盘，包括第二滑轨、控制器、支杆、第二滑块、第三气缸、夹槽、第一滑轨、第一气缸、第二气缸、第一滑块、第一夹板、氦气供给管、卡槽、底台、第一抵板、第二抵板、第二夹板和第四气缸，所述底台上安装卡槽，底台和卡槽上均安装氦气供给管，卡槽左右两侧各安装夹槽，夹槽内安装第一滑轨，第一滑轨上安装第一滑块，第一滑块右侧安装第一夹板，第二气缸安装在卡槽内，第二气缸的活塞杆与第一夹板相连，卡槽内安装第一气缸，第一夹板设有第一小洞，第一气缸的活塞杆从第一小洞穿过第一夹板，第一气缸的活塞杆上安装第一抵板，卡槽上安装第三气缸，第三气缸的活塞杆上安装支杆，支杆右侧安装第二滑块，第二滑块安装在第二滑轨上，第二滑轨安装在卡槽右侧，第二滑块右侧安装第二夹板，第二夹板内安装第四气缸，第二夹板上设有第二小洞，第四气缸的活塞杆从第二小洞伸出第二夹板外，第四气缸的活塞杆上安装第二抵板，控制器安装在夹槽上。所述第一气缸内置第一电磁阀，第一电磁阀通过导线与控制器相连。所述第二气缸内置第二电磁阀，第二电磁阀通过导线与控制器相连。所述第三气缸内置第三电磁阀，第三电磁阀通过导线与控制器相连。所述第四气缸内置第四电磁阀，第四电磁阀通过导线与控制器相连。本技术的优点是：将蓝宝石晶片放置在卡槽上，控制器控制第二气缸做收缩运动，使第一夹板向左移动，使第一滑块向左移动，使第一夹板离开蓝宝石晶片；控制器控制第一气缸做伸展运动，使第一抵板向右移动，使第一抵板抵住蓝宝石晶片，避免蓝宝石晶片移动；控制器控制第三气缸做伸展运动，使支杆向上移动，使第二滑块向上移动，使第二夹板向上移动，使第二夹板离开蓝宝石晶片；控制器控制第四气缸做伸展运动，使第二抵板向下移动，使第二抵板抵住蓝宝石晶片，避免蓝宝石晶片移动；刻蚀过程中，阶段性的使第一夹板和第二夹板离开蓝宝石晶片，能使气体顺利流动。附图说明图1是本技术一种干式刻蚀机的晶片托盘整体结构图；图中：1、第二滑轨 2、控制器 3、支杆 4、第二滑块 5、第三气缸 6、夹槽 7、第一滑轨 8、第一气缸 9、第二气缸 10、第一滑块 11、第一夹板 12、氦气供给管 13、卡槽 14、底台 15、第一抵板 16、第二抵板 17、第二夹板 18、第四气缸。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步的说明。本技术一种干式刻蚀机的晶片托盘，包括第二滑轨1、控制器2、支杆3、第二滑块4、第三气缸5、夹槽6、第一滑轨7、第一气缸8、第二气缸9、第一滑块10、第一夹板11、氦气供给管12、卡槽13、底台14、第一抵板15、第二抵板16、第二夹板17和第四气缸18，所述底台14上安装卡槽13，底台14和卡槽13上均安装氦气供给管12，卡槽13左右两侧各安装夹槽6，夹槽6内安装第一滑轨7，第一滑轨7上安装第一滑块10，第一滑块10右侧安装第一夹板11，第二气缸9安装在卡槽13内，第二气缸9内置第二电磁阀，第二电磁阀通过导线与控制器2相连，将蓝宝石晶片放置在卡槽13上，控制器2控制第二气缸9做收缩运动，使第一夹板11向左移动，使第一滑块10向左移动，使第一夹板11离开蓝宝石晶片；第二气缸9的活塞杆与第一夹板11相连，卡槽13内安装第一气缸8，第一气缸8内置第一电磁阀，第一电磁阀通过导线与控制器2相连，控制器2控制第一气缸8做伸展运动，使第一抵板15向右移动，使第一抵板15抵住蓝宝石晶片，避免蓝宝石晶片移动；第一夹板11设有第一小洞，第一气缸8的活塞杆从第一小洞穿过第一夹板11，第一气缸8的活塞杆上安装第一抵板15，卡槽13上安装第三气缸5，第三气缸5内置第三电磁阀，第三电磁阀通过导线与控制器2相连，控制器2控制第三气缸5做伸展运动，使支杆3向上移动，使第二滑块4向上移动，使第二夹板17向上移动，使第二夹板17离开蓝宝石晶片；第三气缸5的活塞杆上安装支杆3，支杆3右侧安装第二滑块4，第二滑块4安装在第二滑轨1上，第二滑轨1安装在卡槽13右侧，第二滑块4右侧安装第二夹板17，第二夹板17内安装第四气缸18，第四气缸18内置第四电磁阀，第四电磁阀通过导线与控制器2相连，控制器2控制第四气缸18做伸展运动，使第二抵板16向下移动，使第二抵板16抵住蓝宝石晶片，避免蓝宝石晶片移动；第二夹板17上设有第二小洞，第四气缸18的活塞杆从第二小洞伸出第二夹板17外，第四气缸18的活塞杆上安装第二抵板16，刻蚀过程中，阶段性的使第一夹板11和第二夹板17离开蓝宝石晶片，能使气体顺利流动，控制器2安装在夹槽6上。本技术使用方法：将蓝宝石晶片放置在卡槽13上，控制器2控制第二气缸9做收缩运动，使第一夹板11向左移动，使第一滑块10向左移动，使第一夹板11离开蓝宝石晶片；控制器2控制第一气缸8做伸展运动，使第一抵板15向右移动，使第一抵板15抵住蓝宝石晶片，避免蓝宝石晶片移动；控制器2控制第三气缸5做伸展运动，使支杆3向上移动，使第二滑块4向上移动，使第二夹板17向上移动，使第二夹板17离开蓝宝石晶片；控制器2控制第四气缸18做伸展运动，使第二抵板16向下移动，使第二抵板16抵住蓝宝石晶片，避免蓝宝石晶片移动；刻蚀过程中，阶段性的使第一夹板11和第二夹板17离开蓝宝石晶片，能使气体顺利流动。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干式刻蚀机的晶片托盘，包括第二滑轨（1）、控制器（2）、支杆（3）、第二滑块（4）、第三气缸（5）、夹槽（6）、第一滑轨（7）、第一气缸（8）、第二气缸（9）、第一滑块（10）、第一夹板（11）、氦气供给管（12）、卡槽（13）、底台（14）、第一抵板（15）、第二抵板（16）、第二夹板（17）和第四气缸（18），其特征是：所述底台（14）上安装卡槽（13），底台（14）和卡槽（13）上均安装氦气供给管（12），卡槽（13）左右两侧各安装夹槽（6），夹槽（6）内安装第一滑轨（7），第一滑轨（7）上安装第一滑块（10），第一滑块（10）右侧安装第一夹板（11），第二气缸（9）安装在卡槽（13）内，第二气缸（9）的活塞杆与第一夹板（11）相连，卡槽（13）内安装第一气缸（8），第一夹板（11）设有第一小洞，第一气缸（8）的活塞杆从第一小洞穿过第一夹板（11），第一气缸（8）的活塞杆上安装第一抵板（15），卡槽（13）上安装第三气缸（5），第三气缸（5）的活塞杆上安装支杆（3），支杆（3）右侧安装第二滑块（4），第二滑块（4）安装在第二滑轨（1）上，第二滑轨（1）安装在卡槽（13）右侧，第二滑块（4）右侧安装第二夹板（17），第二夹板（17）内安装第四气缸（18），第二夹板（17）上设有第二小洞，第四气缸（18）的活塞杆从第二小洞伸出第二夹板（17）外，第四气缸（18）的活塞杆上安装第二抵板（16），控制器（2）安装在夹槽（6）上。...

【技术特征摘要】
1.一种干式刻蚀机的晶片托盘，包括第二滑轨（1）、控制器（2）、支杆（3）、第二滑块（4）、第三气缸（5）、夹槽（6）、第一滑轨（7）、第一气缸（8）、第二气缸（9）、第一滑块（10）、第一夹板（11）、氦气供给管（12）、卡槽（13）、底台（14）、第一抵板（15）、第二抵板（16）、第二夹板（17）和第四气缸（18），其特征是：所述底台（14）上安装卡槽（13），底台（14）和卡槽（13）上均安装氦气供给管（12），卡槽（13）左右两侧各安装夹槽（6），夹槽（6）内安装第一滑轨（7），第一滑轨（7）上安装第一滑块（10），第一滑块（10）右侧安装第一夹板（11），第二气缸（9）安装在卡槽（13）内，第二气缸（9）的活塞杆与第一夹板（11）相连，卡槽（13）内安装第一气缸（8），第一夹板（11）设有第一小洞，第一气缸（8）的活塞杆从第一小洞穿过第一夹板（11），第一气缸（8）的活塞杆上安装第一抵板（15），卡槽（13）上安装第三气缸（5），第三气缸（5）的活塞杆上安装支杆（3）...

【专利技术属性】
技术研发人员：竺平军，
申请(专利权)人：浙江优众新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33