TFT基板的清洗方法技术

技术编号:8908053 阅读:316 留言:0更新日期:2013-07-12 00:48
本发明专利技术提供了一种TFT基板的清洗方法,包括以下步骤:将食醋或醋酸溶液均匀喷洒在抛光浆料研磨后的TFT基板的表面,其中,所述抛光浆料中含有氧化铈;将所述TFT基板表面的所述食醋或所述醋酸溶液擦拭除去;及用纯水清洗所述TFT基板表面,自然晾干,得到清洗后的TFT基板。上述TFT基板的清洗方法,食醋或醋酸溶液中的醋酸与氧化铈发生化学反应,使氧化铈变为铈离子而溶解于食醋或醋酸溶液中,去除TFT基板表面残余的抛光浆料污迹,清洗效果较佳;且不需进行二次抛光浆料研磨,减少能耗,提高了TFT基板的效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种TFT基板的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:将食醋或醋酸溶液均匀喷洒在抛光浆料研磨后的TFT基板的表面,其中,所述抛光浆料中含有氧化铈;将所述TFT基板表面的所述食醋或所述醋酸溶液擦拭除去;及用纯水清洗所述TFT基板表面,自然晾干,得到清洗后的TFT基板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吴玉龙张迅易伟华
申请(专利权)人:江西沃格光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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