柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置，属于触控显示领域。柔性基板，包括：第一柔性基底；位于所述第一柔性基底上的第一缓冲层；位于所述第一缓冲层上的第一压力感应电极；覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底；其中，所述第一压力感应电极能够与位于所述第二柔性基底背向所述第一压力感应电极一侧的第二压力感应电极组成压力感应电容。通过本发明专利技术的技术方案能够使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的装配步骤。

Flexible substrate, touch control display substrate, method for manufacturing the same, and touch control display device

The invention provides a flexible substrate, a touch control display base plate and a manufacturing method thereof, and a touch control display device, belonging to the touch control display field. A flexible substrate includes a first flexible substrate; a first buffer layer disposed on the first flexible substrate; a first pressure sensing electrode is positioned on the first buffer layer; second flexible substrate covering the first pressure sensing electrode; wherein, the first pressure sensing electrode can and at the second flexible substrate back to the second pressure sensing electrode of the first pressure sensing electrode side of the pressure sensing capacitor. By adopting the technical proposal of the invention, the touch display substrate can be integrated with the pressure sensing function, and the assembly step of the touch control display product can be simplified.

【技术实现步骤摘要】
柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置
本专利技术涉及触控显示领域，特别是指一种柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置。
技术介绍
ForceTouch(压力触控)应用领域越来越广泛，该技术是在原有X/Y二维操作的基础上增加了Z轴(按压)的维度，在应用到智能终端中时，能够让智能终端的操作界面增加许多二级/三级子菜单，可以通过用户手指按压而快速进入。现有ForceTouch方案一般为在显示面板下方贴附压力触控片，再将压力触控片与柔性电路板(FPCB)连接，其中，压力触控片往往需要单独购买，再与显示面板进行贴合、组装及检查等工序，流程繁琐且增加了触控显示产品的厚度。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置，能够使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的装配步骤。为解决上述技术问题，本专利技术的实施例提供技术方案如下：一方面，提供一种柔性基板，包括：第一柔性基底；位于所述第一柔性基底上的第一缓冲层；位于所述第一缓冲层上的第一压力感应电极；覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底；其中，所述第一压力感应电极能够与位于所述第二柔性基底背向所述第一压力感应电极一侧的第二压力感应电极组成压力感应电容。进一步地，所述柔性基板还包括：覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层，所述第二柔性基底位于所述第二缓冲层上。本专利技术实施例还提供了一种柔性基板的制作方法，包括：在刚性载体上形成第一柔性基底；在所述第一柔性基底上形成第一缓冲层；在所述第一缓冲层上形成第一压力感应电极；形成覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底。进一步地，形成所述第二柔性基底的步骤之前，所述方法还包括：形成覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层；形成所述第二柔性基底具体为：在所述第二缓冲层上形成所述第二柔性基底。本专利技术实施例还提供了一种触控显示基板，包括：如上所述的柔性基板；位于所述柔性基板上的显示功能层和/或触控电极层。进一步地，所述触控显示基板还包括：能够与所述第一压力感应电极组成压力感应电容的第二压力感应电极。进一步地，所述显示功能层包括薄膜晶体管和有机发光层，与所述薄膜晶体管连接的显示电压信号传输线通过过孔与所述第一压力感应电极电连接。本专利技术实施例还提供了一种触控显示基板的制作方法，包括：采用如上所述的制作方法制作柔性基板；在所述柔性基板上形成显示功能层；和/或在所述显示功能层上形成触控电极层。进一步地，所述显示功能层包括薄膜晶体管和有机发光层，所述制作方法具体包括：在所述柔性基板上形成第三缓冲层；在所述第三缓冲层上形成薄膜晶体管的有源层；形成栅绝缘层；在所述栅绝缘层上形成薄膜晶体管的栅极；形成层间绝缘层；形成暴露出所述第一压力感应电极的引线和/或第一压力感应电极的过孔；在所述层间绝缘层上形成薄膜晶体管的源极、漏极和显示电压信号传输线，所述显示电压信号传输线通过所述过孔电连接所述第一压力感应电极。本专利技术实施例还提供了一种触控显示装置，包括如上所述的触控显示基板，还包括为所述触控显示基板提供显示电压信号的显示驱动电路。进一步地，在显示功能层包括的薄膜晶体管连接的显示电压信号传输线通过过孔与所述第一压力感应电极电连接时，所述显示驱动电路复用为向所述第一压力感应电极提供压力感应电压信号的压力感应电路。本专利技术的实施例具有以下有益效果：上述方案中，在柔性基板的两层柔性基底之间设置压力感应电极，并在柔性基板上形成显示功能层和/或触控电极层，从而实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。附图说明图1为现有技术中在显示面板下方贴附压力触控片，再将压力触控片与柔性电路板连接的示意图；图2为本专利技术实施例触控显示基板的结构示意图；图3为本专利技术实施例触控显示装置的制作流程示意图。附图标记柔性电路板b连接器c压力触控片d显示面板1第一柔性基底2第一缓冲层3第一压力感应电极4第二缓冲层5第二柔性基底6薄膜晶体管阵列层7有源层8栅绝缘层9栅金属层10层间绝缘层11源漏金属层12导电连接线13有机发光层和触控电极层具体实施方式为使本专利技术的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。如图1所示，现有技术一般是在显示面板d下方贴附压力触控片c，再将压力触控片c与柔性电路板(FPCB)连接，其中，压力触控片c往往需要单独购买，再与显示面板d进行贴合、组装及检查等工序，流程繁琐且增加了触控显示产品的厚度。为了解决上述问题，本专利技术的实施例提供一种柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置，能够使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的装配步骤。实施例一本实施例提供一种柔性基板，包括：第一柔性基底；位于所述第一柔性基底上的第一缓冲层；位于所述第一缓冲层上的第一压力感应电极；覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底；其中，所述第一压力感应电极能够与位于所述第二柔性基底背向所述第一压力感应电极一侧的第二压力感应电极组成压力感应电容。本实施例在柔性基板的两层柔性基底之间设置压力感应电极，之后可以在柔性基板上形成显示功能层和/或触控电极层，从而实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。其中，第一柔性基底和第二柔性基底可以采用PI(聚酰亚胺)制成，厚度可以为第一缓冲层可以采用SiNx层、SiOx层或其组合膜层，厚度可以为第一压力感应电极可以采用金属制成或透明导电层制成，金属层可以为Mo、Al、Ti或复合层，厚度约为可以通过构图工艺利用金属层形成第一压力电极。在形成第二柔性基底时，需要暴露出第一压力感应电极的引出线，这样可以在后期制程中将引出线与压力感应电路电连接。进一步地，所述柔性基板还包括：覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层，所述第二柔性基底位于所述第二缓冲层上。第二缓冲层能够为后续制程提供平坦的表面，便于在第二缓冲层上涂覆柔性基底材料形成第二柔性基底，第二缓冲层可以采用与第一缓冲层同样的材料制成。实施例二本实施例提供了一种柔性基板的制作方法，包括：在刚性载体上形成第一柔性基底；在所述第一柔性基底上形成第一缓冲层；在所述第一缓冲层上形成第一压力感应电极；形成覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底。之后，可以从刚性载体上剥离形成的柔性基板。本实施例在柔性基板的两层柔性基底之间设置压力感应电极，之后可以在柔性基板上形成显示功能层和/或触控电极层，从而实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。其中，第一柔性基底和第二柔性基底可以采用PI(聚酰亚胺)制成，厚度可以为第一缓冲层可以采用SiNx层、SiOx层或其组合膜层，厚度可以为第一压力感应电极可以采用金属制成或透明导电层制成，金属层可以为Mo、Al、Ti或复合层，厚度约为可以通过构图工艺利用金属层形成第一压力电极。在形成第二柔性基底时，需要暴露出第一压力感应电极的引出线，这样可以在后期制程中将引出线与压力感应电路电连接。进一步地，形成所述第二柔性基底的步骤之前，所述方法还包括：形成覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性基板，其特征在于，包括：第一柔性基底；位于所述第一柔性基底上的第一缓冲层；位于所述第一缓冲层上的第一压力感应电极；覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底；其中，所述第一压力感应电极能够与位于所述第二柔性基底背向所述第一压力感应电极一侧的第二压力感应电极组成压力感应电容。

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板，其特征在于，包括：第一柔性基底；位于所述第一柔性基底上的第一缓冲层；位于所述第一缓冲层上的第一压力感应电极；覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底；其中，所述第一压力感应电极能够与位于所述第二柔性基底背向所述第一压力感应电极一侧的第二压力感应电极组成压力感应电容。2.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板还包括：覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层，所述第二柔性基底位于所述第二缓冲层上。3.一种柔性基板的制作方法，其特征在于，包括：在刚性载体上形成第一柔性基底；在所述第一柔性基底上形成第一缓冲层；在所述第一缓冲层上形成第一压力感应电极；形成覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底。4.根据权利要求3所述的柔性基板的制作方法，其特征在于，形成所述第二柔性基底的步骤之前，所述方法还包括：形成覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层；形成所述第二柔性基底具体为：在所述第二缓冲层上形成所述第二柔性基底。5.一种触控显示基板，其特征在于，包括：如权利要求1或2所述的柔性基板；位于所述柔性基板上的显示功能层和/或触控电极层。6.根据权利要求5所述的触控显示基板，其特征在于，所述触控显示基板还包括：能够与所述第一压力感应电极组成压力感应电容的第二压力感应电极。7.根据权利要求5所述的触控显示基板，...

【专利技术属性】
技术研发人员：何建军，陈立强，邓莉，王涛，朴世赫，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11