一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液制造技术

一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液，其特征在于所述预处理液由以下成分组成：质量百分比含量10～20％的盐酸(HCl)，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量5～10％的聚乙烯醇(PVA)，质量百分比含量0.5～1％的聚二甲基硅氧烷，质量百分含量1‑2％的羟丙基‑β‑环糊精及余量的水。

Pretreatment process for TFT glass substrate thinning process

A TFT glass substrate thinning process pretreatment liquid, characterized in that the pretreatment liquid comprises the following components: the mass percentage of 10 ~ 20% hydrochloric acid (HCl), the mass percentage content of 2% to 5% of hydrofluoric acid (HF), the mass percentage content 5 ~ 10% polyvinyl alcohol (PVA), WT 0.5 ~ 1% two polydimethylsiloxane, content 1 2% hydroxypropyl beta cyclodextrin and balance of water.

【技术实现步骤摘要】
一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液
本专利技术涉及用于TFT玻璃基板蚀刻预处理的组合物。
技术介绍
市场需求的TFT显示屏越来越朝超薄方向发展，在制作超薄TFT显示屏使需要的玻璃基板厚度更薄，需要对现有规格玻璃基板进行薄化处理，现有技术中多采用含有氢氟酸的蚀刻液进行薄化处理，在薄化处理后玻璃基板表明往往会出现局部过蚀产生的凹坑，需要再对基板表明进行长时间的抛光处理，严重影响了生产效率，提高了加工成本。为了减少薄化处理出现的凹坑，除了在以氢氟酸为基础的蚀刻液中加入助剂外，还可以采用在薄化处理前对TFT液晶屏的玻璃基板(简称TFT玻璃)进行预处理的方法，现有技术中的预处理液多采用浓硫酸为基础配制的混合酸液，在提供一种新的TFT玻璃薄化工艺预处理液，在提高处理效果的基础上降低污染排放，成为现有技术中亟待解决的问题。
技术实现思路
为解决前述技术问题，本专利技术提供了一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液，通过优化预处理液的处方和处理工艺，成功的实现了避免了浓硫酸等造成严重污染且难于处理的原材料的使用。本专利技术提供了一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液，其特征在于所述预处理液由以下成分组成：质量百分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液，其特征在于所述预处理液由以下成分组成：质量百分比含量10～20％的盐酸(HCl)，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量5～10％的聚乙烯醇(PVA)，质量百分比含量0.5～1％的聚二甲基硅氧烷，质量百分含量1‑2％的羟丙基‑β‑环糊精及余量的水。

【技术特征摘要】
1.一种TFT玻璃基板薄化工艺预处理液，其特征在于所述预处理液由以下成分组成：质量百分比含量10～20％的盐酸(HCl)，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量5～10％的聚乙烯醇(PVA)，质量百分比含量0.5～1％的聚二甲基硅氧烷，质量百分含量1-2％的羟丙基-β-环糊精及余量的水。2.如权利要求1所述的一种TFT玻璃基板薄化...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，沈励，郑建军，姚仕军，夏伟，吴青肖，
申请(专利权)人：天津美泰真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12