TFT glass substrate thinning process pretreatment agent, which consists of the following components: the mass percentage content 8 ~ 12% hydrochloric acid (HCl), nitrate content of 3 mass percentage of 5%, the mass percentage content is 2% ~ 5% of hydrofluoric acid (HF), 5 ~ 6% of the mass percentage of hydroxypropyl methyl cellulose (HPMC), 2 ~ 3% wt of gellan gum, and the water margin.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于TFT玻璃基板蚀刻预处理的组合物。
技术介绍
在因制作超薄TFT(ThinFilmTransistor,薄膜晶体管)显示屏需要对TFT显示屏玻璃基板进行薄化处理时,需要对现有规格玻璃基板进行薄化处理,而当前普遍采用的氢氟酸蚀刻薄化方法在薄化处理后玻璃基板表明往往会出现局部过蚀产生的凹坑,需要再对基板表明进行长时间的抛光处理,严重影响了生产效率,提高了加工成本。为了减少薄化处理出现的凹坑,需要在薄化处理前对TFT液晶屏的玻璃基板(简称TFT玻璃)进行预处理,中国专利CN103951270B公开了一种对TFT玻璃进行薄化预处理的方法,采用90-95%、3-5%、2-5%的浓硫酸、浓盐酸以及氢氟酸的混合酸液;对TFT玻璃基板进行预处理。该方法虽然可以实现一定的减少薄化后玻璃基板凹坑的效果,但预处理的混合酸中加入了大量的浓硫酸,预处理工序后产生的废液难于进行处理。因此提供一种新的TFT玻璃薄化预处理用产品,在提高处理效果的基础上降低污染排放,成为现有技术中亟待解决的问题。
技术实现思路
为解决前述技术问题,本专利技术提供了TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂及其处理工艺,通过优化预处理剂的处方和处理工艺,成功的实现了避免了浓硫酸等造成严重污染且难于处理的原材料的使用。本专利技术提供了TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂,其特征在于所述预处理剂由以下组分组成:质量百分比含量8~12%的盐酸(HCl),质量百分比含量3-5%的硝酸,质量百分比含量2%~5%的氢氟酸(HF),质量百分含量0.1~0.2%的氯化钙,质量百分比含量1~2%的羟丙基甲基纤维素(HPMC), ...
【技术保护点】
TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂,其特征在于所述预处理剂由以下组分组成:质量百分比含量8~12%的盐酸(HCl),质量百分比含量3‑5%的硝酸,质量百分比含量2%~5%的氢氟酸(HF),质量百分含量0.1~0.2%的氯化钙,质量百分比含量1~2%的羟丙基甲基纤维素(HPMC),质量百分比含量0.5~1%的结冷胶,及余量的水。
【技术特征摘要】
1.TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂,其特征在于所述预处理剂由以下组分组成:质量百分比含量8~12%的盐酸(HCl),质量百分比含量3-5%的硝酸,质量百分比含量2%~5%的氢氟酸(HF),质量百分含量0.1~0.2%的氯化钙,质量百分比含量1~2%的羟丙基甲基纤维素(HPMC),质量百分比含量0.5~1%的结冷胶,...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。