一种喷淋式蚀刻机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种TFT‑LCD加工设备，尤其是一种喷淋式蚀刻机，包括依次连接的蚀刻段和清洗段，所述蚀刻段包括依次连接的第一蚀刻部、第二蚀刻部、第三蚀刻部、第四蚀刻部和第五蚀刻部；所述第一蚀刻部包括第一辊道、第一吹尘器、第一药液循环系统，所述第一辊道设置在机架防水槽的上方，所述第一辊道进料处设置有第一吹尘器，所述第一药液循环系统包括设有进水口和溢流口的药液箱、磁力泵、液位传感器和蚀刻喷淋装置，所述清洗段包括第六辊道、第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统、超纯水喷淋系统、第一风刀系统和第二风刀系统，通过吹尘、蚀刻、吹尘、喷淋、超纯水喷淋以及风刀吹干，在保证蚀刻效果的同时还保证了出品干净。

Spray type etching machine

The utility model relates to a TFT LCD processing equipment, in particular to a spray type etching machine comprises etching and cleaning section, the etching section includes first etching, etching sequentially connected second and third and fourth etching and fifth etching etching; the first etch part including the first roller, the first dust blowing device, the first liquor circulation system, the first roller is arranged on the upper part of a water tank, wherein the first feeding roller is arranged at the first dust blowing device, the first liquor circulation system comprises a water inlet and overflow liquid outlet box, magnetic pump, liquid level sensor and etching the spraying device, the cleaning section includes sixth roller, the first spray system, second spray system, third spray system, ultra pure water spray system, the first air knife system and second air knife system, Through the dust blowing, etching, blowing dust, spray, ultra pure water spray and air knife drying, to ensure the effect of etching at the same time to ensure the production of clean.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种TFT-LCD加工设备，尤其是一种喷淋式蚀刻机。
技术介绍
喷淋式蚀刻机主要应用于TFT-LCD面板的薄化，通过减小玻璃厚度，从而达到使最终产品更轻更薄、显示色彩更加炫丽、触控操作更加灵敏的作用，喷淋式蚀刻机是TFT-LCD面板制造过程的关键设备之一。随着目前国内外手机、平板电脑、照相机、摄像机等行业升温和产量增加，市场对TFT-LCD面板的需求与日剧增，TFT-LCD面板制造企业对液晶面板薄化工序设备的需求将越来越多，因此，液晶面板薄化成套设备的市场前景非常广阔。现有技术进行了研发，例如中国专利公开了一种喷淋蚀刻机，申请号：201410587717.0，申请日：2014-12-31，喷淋式蚀刻机，包括机体以及与机体的连接的药液循环系统，其中，机体主要由清洗区，与清洗区紧密衔接的蚀刻区两部分组成，所述清洗区与蚀刻区均设置有相应的清洗区驱动门和蚀刻区驱动门，清洗区驱动门和蚀刻区驱动门把清洗区和蚀刻区隔离成两个相互独立的工作区，所述清洗区上方设置有清洗喷淋装置，清洗区侧板下方设置有同步带传送装置，所述蚀刻区上方设置有活动可拆卸的蚀刻喷淋装置，蚀刻区右下方设置有伺服驱动电机，所述机体下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的滑轨，滑轨配装有相适应的托盘，机体两侧侧板下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的回型防水槽；通过机体两侧侧板下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的回型防水槽，工作过程中，回型防水槽通入循环水，使得伺服电机、减速器、同步带传送装置与清洗区和蚀刻区隔离开，有效保护了伺服电机、减速器、同步带传送装置，减少了酸雾对其的腐蚀，延长了伺服电机、减速器、同步带传送装置的使用寿命。上述技术方案存在的问题在于：1)先清洗后蚀刻，使得工件携带腐蚀性物质出料，不利于工件的暂存放置；2)药液循环系统没有加热器，难以保证蚀刻的效率。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供一种高效工作且可实现工件洁净出料的蚀刻机。本技术的技术方案为：一种喷淋式蚀刻机，其特征在于：它包括依次连接的蚀刻段和清洗段，两者均安装在同一个设有防水槽的机架上；所述蚀刻段包括依次连接的第一蚀刻部、第二蚀刻部、第三蚀刻部、第四蚀刻部和第五蚀刻部；所述第一蚀刻部包括第一辊道、第一吹尘器、第一药液循环系统，所述第一辊道设置在机架防水槽的上方，所述第一辊道进料处设置有第一吹尘器，所述第一吹尘器包括风泵和两个喷嘴，所述风泵通过两个带有手阀的管道连接两个喷嘴，这两个喷嘴分别安装在第一辊道的上下方且对嘴设置，所述第一药液循环系统包括设有进水口和溢流口的药液箱、磁力泵、液位传感器、温度传感器、加热器和蚀刻喷淋装置，该药液箱内设有磁力泵、液位传感器、温度传感器和加热器，该磁力泵通过带有手阀的管道连接蚀刻喷淋装置，该蚀刻喷淋装置对应的防水槽设有连通药液箱的回液管，该回液管还连接有排液管，回液管和排液管上均设有手阀，便于选择药液回药液箱或者是排出蚀刻机外；所述第二蚀刻部包括第二辊道、第二药液循环系统，第二药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第三蚀刻部包括第三辊道、第三药液循环系统，第三药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第四蚀刻部包括第四辊道、第四药液循环系统，第四药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第五蚀刻部包括第五辊道、第五药液循环系统和第二吹尘器，所述第二吹尘器安装在第五辊道的出料端，所述第五药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第一蚀刻部的进料处和第五蚀刻部的出料处均设有防腐蚀隔离板，所述防腐蚀隔离板设有便于工件和辊道通过的缺口；所述清洗段包括第六辊道、第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统、超纯水喷淋系统、第一风刀系统和第二风刀系统，所述第六辊道依次安装有第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统、超纯水喷淋系统、第一风刀系统和第二风刀系统，所述第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统之间的结构区别仅在于安装位置不同，所述第一喷淋系统包括设有补水口和溢流口的水箱、水泵和带有压力表的喷管，水箱内设有水泵，该水泵通过两根带有手阀的管道连接两根喷管，这两根喷管分别设置在第六辊道上下方，所述超纯水喷淋系统包括DI水进水管、电磁阀、流量计和喷管，所述DI水进水管通过管道连接喷管，该管道上依次设有电磁阀和流量计，所述第一风刀系统和第二风刀系统的结构区别仅在于安装位置不同，所述第一风刀系统包括风泵、设置在第六辊道上下方的上下风刀，所述风泵通过两根带有手阀的管道连通上下风刀。作为本技术的进一步改进，所述第一蚀刻部、第二蚀刻部、第三蚀刻部、第四蚀刻部和第五蚀刻部的药液箱依次通过连通管连通，使得所有蚀刻部药液箱内的药液共享，防止部分药液箱进出液出现堵塞而无法正常工作。作为本技术的进一步改进，所述第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统的水箱安装前者补水口连接后者溢流口的方式连接，所述第三喷淋系统通过回水管连接超纯水喷淋系统对应的防水槽处，使得超纯水喷淋后可以被喷淋系统继续利用，节约资源。所述蚀刻喷淋装置设有摆动电机。本技术的有益效果为：本技术通过吹尘、多层蚀刻、吹尘、多次喷淋、一次超纯水喷淋以及两次风刀吹干，在保证蚀刻效果的同时还保证了出品干净，便于下一工序的进行。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术蚀刻段的结构示意图；图3为本技术第一蚀刻部的结构示意图；图4为本技术第二蚀刻部的结构示意图；图5为本技术第五蚀刻部的结构示意图；图6为本技术清洗段的结构示意图。图中，1、蚀刻段；2、清洗段；11、防腐蚀隔离板；12、第一蚀刻部；13、第二蚀刻部；14、第三蚀刻部；15、第四蚀刻部；16、第五蚀刻部；121、第一辊道；122、第一吹尘器；123、第一药液循环系统；124、风泵；125、手阀；126、喷嘴；127、磁力泵；128、蚀刻喷淋装置；131、第二药液循环系统；161、第五药液循环系统；162、第二吹尘器；201、第六辊道；202、第一喷淋系统；203、第二喷淋系统；204、第三喷淋系统；205、超纯水喷淋系统；206、第一风刀系统；207、第二风刀系统；208、喷管；209、压力表；210、电磁阀；211、流量计。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明：如图1-6所示，一种喷淋式蚀刻机，它包括依次连接的蚀刻段1和清洗段2，两者均安装在同一个设有防水槽的机架上；所述蚀刻段1包括依次连接的第一蚀刻部12、第二蚀刻部13、第三蚀刻部14、第四蚀刻部15和第五蚀刻部16；所述第一蚀刻部12包括第一辊道121(实际本文所有辊道均连接成同一辊道，文中表述仅为便于示意)、第一吹尘器122、第一药液循环系统123，所述第一辊道121设置在机架防水槽的上方，所述第一辊道121进料处设置有第一吹尘器122，所述第一吹尘器122包括风泵124和两个喷嘴126，所述风泵124通过两个带有手阀125的管道连接两个喷嘴126，这两个喷嘴126分别安装在第一辊道121的上下方且对嘴设置，所述第一药液循环系统123包括设有进水口和溢流口的药液箱、磁力泵127、液位传感器、温度传感器、加热器和蚀刻喷淋装置128本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷淋式蚀刻机，其特征在于：它包括依次连接的蚀刻段和清洗段，两者均安装在同一个设有防水槽的机架上；所述蚀刻段包括依次连接的第一蚀刻部、第二蚀刻部、第三蚀刻部、第四蚀刻部和第五蚀刻部；所述第一蚀刻部包括第一辊道、第一吹尘器、第一药液循环系统，所述第一辊道设置在机架防水槽的上方，所述第一辊道进料处设置有第一吹尘器，所述第一吹尘器包括风泵和两个喷嘴，所述风泵通过两个带有手阀的管道连接两个喷嘴，这两个喷嘴分别安装在第一辊道的上下方且对嘴设置，所述第一药液循环系统包括设有进水口和溢流口的药液箱、磁力泵、液位传感器、温度传感器、加热器和蚀刻喷淋装置，该药液箱内设有磁力泵、液位传感器、温度传感器和加热器，该磁力泵通过带有手阀的管道连接蚀刻喷淋装置，该蚀刻喷淋装置对应的防水槽设有连通药液箱的回液管，该回液管还连接有排液管，回液管和排液管上均设有手阀，便于选择药液回药液箱或者是排出蚀刻机外；所述第二蚀刻部包括第二辊道、第二药液循环系统，第二药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第三蚀刻部包括第三辊道、第三药液循环系统，第三药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第四蚀刻部包括第四辊道、第四药液循环系统，第四药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第五蚀刻部包括第五辊道、第五药液循环系统和第二吹尘器，所述第二吹尘器安装在第五辊道的出料端，所述第五药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第一蚀刻部的进料处和第五蚀刻部的出料处均设有防腐蚀隔离板，所述防腐蚀隔离板设有便于工件和辊道通过的缺口；所述清洗段包括第六辊道、第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统、超纯水喷淋系统、第一风刀系统和第二风刀系统，所述第六辊道依次安装有第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统、超纯水喷淋系统、第一风刀系统和第二风刀系统，所述第一喷淋系统、第二喷淋系统、第三喷淋系统之间的结构区别仅在于安装位置不同，所述第一喷淋系统包括设有补水口和溢流口的水箱、水泵和带有压力表的喷管，水箱内设有水泵，该水泵通过两根带有手阀的管道连接两根喷管，这两根喷管分别设置在第六辊道上下方，所述超纯水喷淋系统包括DI水进水管、电磁阀、流量计和喷管，所述DI水进水管通过管道连接喷管，该管道上依次设有电磁阀和流量计，所述第一风刀系统和第二风刀系统的结构区别仅在于安装位置不同，所述第一风刀系统包括风泵、设置在第六辊道上下方的上下风刀，所述风泵通过两根带有手阀的管道连通上下风刀。...

【技术特征摘要】
1.一种喷淋式蚀刻机，其特征在于：它包括依次连接的蚀刻段和清洗段，两者均安装在同一个设有防水槽的机架上；所述蚀刻段包括依次连接的第一蚀刻部、第二蚀刻部、第三蚀刻部、第四蚀刻部和第五蚀刻部；所述第一蚀刻部包括第一辊道、第一吹尘器、第一药液循环系统，所述第一辊道设置在机架防水槽的上方，所述第一辊道进料处设置有第一吹尘器，所述第一吹尘器包括风泵和两个喷嘴，所述风泵通过两个带有手阀的管道连接两个喷嘴，这两个喷嘴分别安装在第一辊道的上下方且对嘴设置，所述第一药液循环系统包括设有进水口和溢流口的药液箱、磁力泵、液位传感器、温度传感器、加热器和蚀刻喷淋装置，该药液箱内设有磁力泵、液位传感器、温度传感器和加热器，该磁力泵通过带有手阀的管道连接蚀刻喷淋装置，该蚀刻喷淋装置对应的防水槽设有连通药液箱的回液管，该回液管还连接有排液管，回液管和排液管上均设有手阀，便于选择药液回药液箱或者是排出蚀刻机外；所述第二蚀刻部包括第二辊道、第二药液循环系统，第二药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第三蚀刻部包括第三辊道、第三药液循环系统，第三药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第四蚀刻部包括第四辊道、第四药液循环系统，第四药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置不同；所述第五蚀刻部包括第五辊道、第五药液循环系统和第二吹尘器，所述第二吹尘器安装在第五辊道的出料端，所述第五药液循环系统与第一药液循环系统的结构区别仅在于安装位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈斐，黄宇忠，王建朋，
申请(专利权)人：广州市万亿达电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44